一种碳化硅晶片抛光用固定装置制造方法及图纸

技术编号:42685772 阅读:22 留言:0更新日期:2024-09-10 12:34
本技术公开了一种碳化硅晶片抛光用固定装置,涉及碳化硅晶片技术领域,包括支撑底板,所述支撑底板的上表面一端设置有清理机构,所述清理机构包括收纳箱和储存袋,收纳箱的外表面一侧固定设置有伺服电机,伺服电机的输出轴一端与传动轴的一端固定连接,传动轴的另一端固定设置有扇叶,储存袋固定设置在连通管的一端,连通管的另一端固定设置有伸缩吸头。它能够通过伺服电机带动传动轴转动,传动轴带动扇叶转动,扇叶在旋转过程中在收纳箱内部形成负压,从而使伸缩吸头的一端产生较大的吸力,对抛光后的碳化硅晶片碎屑进行收集,避免碳化硅晶片碎屑堆积在装置内部影响装置的正常使用,提高固定装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及碳化硅晶片,具体是一种碳化硅晶片抛光用固定装置


技术介绍

1、碳化硅晶片的主要应用领域有led固体照明和高频率器件。

2、经过检索,专利公告号为cn219380277u的中国专利中公开了一种碳化硅晶片抛光用固定装置,涉及抛光用固定组件
,一种碳化硅晶片抛光用固定装置,包括抛光架,所述抛光架的内侧滑动连接有内置夹板,此时内置导板则带动内置夹板对碳化硅晶片形成夹持固定,故使抛光板对碳化硅晶片打磨时具备抛光的稳定性,进而改善了传统夹具只能进行同一型号碳化硅晶片夹持操作的单一性,进而降低不同型号碳化硅晶片抛光打磨时需要更换适配夹具的繁琐性,保障了碳化硅晶片加工操作的效率。

3、上述方案中虽然能够对不同型号的碳化硅晶片进行夹持固定,但是上述专利中的固定装置不具有对抛光后的碳化硅晶片碎屑进行集中收集的功能,影响固定装置的使用寿命;为此,我们提供了一种碳化硅晶片抛光用固定装置解决以上问题。


技术实现思路

1、本技术的目的就是为了解决固定装置不具有对抛光后的碳化硅晶片碎屑进行集中收集的功能,影响固定装置的使用寿命的问题,提供了一种碳化硅晶片抛光用固定装置。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种碳化硅晶片抛光用固定装置,包括支撑底板,所述支撑底板的上表面一端设置有清理机构,所述清理机构包括收纳箱和储存袋,收纳箱的外表面一侧固定设置有伺服电机,伺服电机的输出轴一端与传动轴的一端固定连接,传动轴的另一端固定设置有扇叶,储存袋固定设置在连通管的一端,连通管的另一端固定设置有伸缩吸头。

3、进一步的,所述连通管的外圆周面一侧与导引杆的一端固定连接,导引杆另一端的孔洞与受力杆一端的外圆周面滑动连接,受力杆另一端的外圆周面与心形滑块的中部固定连接,心形滑块顶部的凹槽与限位杆的一端滑动连接,便于对心形滑块进行限位。

4、进一步的,所述限位杆的另一端与支撑架的一端转动连接,支撑架固定设置在基座的上表面,基座固定设置在保护隔板的上表面,保护隔板固定设置在外箱的内壁一侧,对碟形散齿轮进行隔离,避免碳化硅晶片碎屑影响固定机构的正常运行。

5、进一步的,所述受力杆的一端与复位弹簧的一端固定连接,复位弹簧的另一端与支撑架的内壁一侧固定连接,心形滑块的底部与基座的上表面接触,便于受力杆复位,推动心形滑块与受力杆的同步运动。

6、进一步的,所述支撑底板的上表面中部固定设置有外箱,外箱的内部设置有固定机构,所述固定机构包括主动杆,主动杆一端的外圆周面与主动齿轮的中部固定连接,实现对不同直径的碳化硅晶片进行固定,提高装置的实用性。

7、进一步的,所述主动齿轮外圆周面一侧的齿牙与碟形散齿轮一侧的齿牙啮合,碟形散齿轮的另一侧固定设置有平面螺旋槽,平面螺旋槽的外表面与支撑杆底部的凹槽滑动连接,支撑杆的外表面与外箱顶部的矩形槽滑动连接,增加对碳化硅晶片固定的稳定性,避免碳化硅晶片在抛光时晃动。

8、进一步的,所述碟形散齿轮的外表面与外箱的内壁转动连接,主动杆的外圆周面与外箱的一侧转动连接,主动杆通过外部动力控制转动,促使扇叶在旋转过程中在收纳箱内部形成负压。

9、进一步的,所述收纳箱固定设置在支撑底板的上表面一端,连通管一端的外圆周面与收纳箱的一侧滑动连接,便于将碳化硅晶片碎屑进行收集。

10、与现有技术相比,该碳化硅晶片抛光用固定装置具备如下有益效果:

11、1、本技术通过清理机构的设置,通过伺服电机带动传动轴转动,传动轴带动扇叶转动,扇叶在旋转过程中在收纳箱内部形成负压,从而使伸缩吸头的一端产生较大的吸力,对抛光后的碳化硅晶片碎屑进行收集,避免碳化硅晶片碎屑堆积在装置内部影响装置的正常使用,提高固定装置的使用寿命。

12、2、本技术通过主动杆、主动齿轮、碟形散齿轮、平面螺旋槽以及支撑杆的设置,通过外部动力控制主动杆转动,主动杆带动主动齿轮转动,主动齿轮通过与碟形散齿轮的啮合,进一步带动碟形散齿轮另一侧的平面螺旋槽转动,平面螺旋槽通过与支撑杆的传动,进一步带动支撑杆向外箱的中部运动,实现对不同规格的碳化硅晶片进行固定。

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【技术保护点】

1.一种碳化硅晶片抛光用固定装置,包括支撑底板(1),其特征在于:所述支撑底板(1)的上表面一端设置有清理机构(5),所述清理机构(5)包括收纳箱(51)和储存袋(55),收纳箱(51)的外表面一侧固定设置有伺服电机(52),伺服电机(52)的输出轴一端与传动轴(53)的一端固定连接,传动轴(53)的另一端固定设置有扇叶(54),储存袋(55)固定设置在连通管(56)的一端,连通管(56)的另一端固定设置有伸缩吸头(57)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述连通管(56)的外圆周面一侧与导引杆(6)的一端固定连接,导引杆(6)另一端的孔洞与受力杆(7)一端的外圆周面滑动连接,受力杆(7)另一端的外圆周面与心形滑块(8)的中部固定连接,心形滑块(8)顶部的凹槽与限位杆(11)的一端滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述限位杆(11)的另一端与支撑架(10)的一端转动连接,支撑架(10)固定设置在基座(12)的上表面,基座(12)固定设置在保护隔板(4)的上表面,保护隔板(4)固定设置在外箱(3)的内壁一侧。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述受力杆(7)的一端与复位弹簧(9)的一端固定连接,复位弹簧(9)的另一端与支撑架(10)的内壁一侧固定连接,心形滑块(8)的底部与基座(12)的上表面接触。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述支撑底板(1)的上表面中部固定设置有外箱(3),外箱(3)的内部设置有固定机构(2),所述固定机构(2)包括主动杆(21),主动杆(21)一端的外圆周面与主动齿轮(22)的中部固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述主动齿轮(22)外圆周面一侧的齿牙与碟形散齿轮(23)一侧的齿牙啮合,碟形散齿轮(23)的另一侧固定设置有平面螺旋槽(24),平面螺旋槽(24)的外表面与支撑杆(25)底部的凹槽滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述碟形散齿轮(23)的外表面与外箱(3)的内壁转动连接,主动杆(21)的外圆周面与外箱(3)的一侧转动连接。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述收纳箱(51)固定设置在支撑底板(1)的上表面一端,连通管(56)一端的外圆周面与收纳箱(51)的一侧滑动连接。

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【技术特征摘要】

1.一种碳化硅晶片抛光用固定装置,包括支撑底板(1),其特征在于:所述支撑底板(1)的上表面一端设置有清理机构(5),所述清理机构(5)包括收纳箱(51)和储存袋(55),收纳箱(51)的外表面一侧固定设置有伺服电机(52),伺服电机(52)的输出轴一端与传动轴(53)的一端固定连接,传动轴(53)的另一端固定设置有扇叶(54),储存袋(55)固定设置在连通管(56)的一端,连通管(56)的另一端固定设置有伸缩吸头(57)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述连通管(56)的外圆周面一侧与导引杆(6)的一端固定连接,导引杆(6)另一端的孔洞与受力杆(7)一端的外圆周面滑动连接,受力杆(7)另一端的外圆周面与心形滑块(8)的中部固定连接,心形滑块(8)顶部的凹槽与限位杆(11)的一端滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特征在于:所述限位杆(11)的另一端与支撑架(10)的一端转动连接,支撑架(10)固定设置在基座(12)的上表面,基座(12)固定设置在保护隔板(4)的上表面,保护隔板(4)固定设置在外箱(3)的内壁一侧。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶片抛光用固定装置,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:李春财任宏志
申请(专利权)人:江苏晶利恒半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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