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本技术公开了一种碳化硅晶片抛光用固定装置，涉及碳化硅晶片技术领域，包括支撑底板，所述支撑底板的上表面一端设置有清理机构，所述清理机构包括收纳箱和储存袋，收纳箱的外表面一侧固定设置有伺服电机，伺服电机的输出轴一端与传动轴的一端固定连接，传动轴...
该专利属于江苏晶利恒半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶利恒半导体科技有限公司授权不得商用。

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