MEMS微镜结构及MEMS微镜集成产品制造技术

本申请提供一种MEMS微镜结构及MEMS微镜集成产品，MEMS微镜结构包括：反射镜；框架，用于承载所述反射镜，包括固定结构和可动框架；第一转轴结构，用于连接所述反射镜和所述可动框架，支持所述反射镜以所述第一转轴结构为轴线进行扭转运动；第二转轴结构，用于连接所述可动框架和所述固定结构，支持所述可动框架带动所述反射镜以所述第二转轴结构为轴线进行扭转运动；其中，所述第一转轴结构包括梁部主体及连接于所述梁部主体和反射镜之间的过渡连接端，所述过渡连接端的宽度不小于所述反射镜的二分之一短轴长度，所述梁部主体的宽度不小于所述过渡连接端的宽度；加固结构，位于反射镜和过渡结构背面，由直线段与曲线段首尾相连形成封闭结构。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及微光机电，尤其是涉及一种mems微镜结构及mems微镜集成产品。

技术介绍

1、微机电系统(micro electro mechanical system，mems)振镜是一种采用mems技术制造的，在驱动器作用下反射镜按照一定规律偏转的器件。目前，mems振镜在许多领域中均得到广泛应用，如光通信、激光投影、三维成像、激光雷达等。

2、本申请专利技术人在研究中发现，现有的mems微镜结构，不同的应用场景中mems微镜结构的工作频率不同，从几百hz到几十khz不等。当mems微镜结构在较高频率下工作时，由于惯性力的作用，反射镜的镜面将发生变形，导致镜面的平整度受到影响，被称之为动态变形，镜面的动态变形会导致像素和图像的光学畸变，影响成像质量。由于镜面的动态变形是在工作过程中产生，会随mems微镜结构的工作状态和瞬时角度变化而变化，而且在镜面的不同位置处的形变量也往往不同，因此，很难通过基于动态变形的检测通过外界进行补偿，而应主要通过设计减小这种形变。

技术实现思路

1、为解决现有存在的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS微镜结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS微镜结构，其特征在于，所述梁部主体包括中心梁及从所述中心梁远离所述可动框架的一端分别向相对两侧弯折延伸的扩展梁，所述梁部主体相对于所述中心梁呈对称地设置。

3.根据权利要求2所述的MEMS微镜结构，其特征在于，所述中心梁的宽度大于所述扩展梁的宽度；和/或，

4.根据权利要求2所述的MEMS微镜结构，其特征在于，所述中心梁的每侧的所述扩展梁的数量为多个，且位于所述中心梁的同侧的多个所述扩展梁的宽度朝远离所述中心梁的方向逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的MEMS微镜...

【技术特征摘要】

1.一种mems微镜结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems微镜结构，其特征在于，所述梁部主体包括中心梁及从所述中心梁远离所述可动框架的一端分别向相对两侧弯折延伸的扩展梁，所述梁部主体相对于所述中心梁呈对称地设置。

3.根据权利要求2所述的mems微镜结构，其特征在于，所述中心梁的宽度大于所述扩展梁的宽度；和/或，

4.根据权利要求2所述的mems微镜结构，其特征在于，所述中心梁的每侧的所述扩展梁的数量为多个，且位于所述中心梁的同侧的多个所述扩展梁的宽度朝远离所述中心梁的方向逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的mems微镜结构，其特征在于，所述反射镜的短轴长度为b，所述过渡连接端的宽度w的计算公式如下：

6.根据权利要求1所述的mems微镜结构，其特征在于，所述第二转轴结构包括与所述可动框架连接的第一连接端、从所述第一连接端向内弯折延伸形成包含...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊笔锋，倪伟鉴，
申请(专利权)人：觉芯电子无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：