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本申请提供一种MEMS微镜结构及MEMS微镜集成产品，MEMS微镜结构包括：反射镜；框架，用于承载所述反射镜，包括固定结构和可动框架；第一转轴结构，用于连接所述反射镜和所述可动框架，支持所述反射镜以所述第一转轴结构为轴线进行扭转运动；第二转...
该专利属于觉芯电子（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过觉芯电子（无锡）有限公司授权不得商用。

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