喷墨打印头的加热器及该加热器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种喷墨打印头的加热器及该加热器的制造方法。该加热器由钽铝氮氧化物（Ｔａ－Ａｌ－ＯＮ）形成，其中该钽铝氮氧化物由约３０至约６０原子百分比的钽、约１０至约３０原子百分比的铝、约５至约３０原子百分比的氧，以及约５至约３０原子百分比的氮形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总的构思涉及一种加热器，并且更具体地涉及一种喷墨打印头的 加热器，以及该加热器的制造方法。
技术介绍
喷墨打印头是将墨滴喷射到记录介质的期望位置上以形成预定彩色图 像的装置。根据墨水喷射机制，喷墨打印头分为两种类型的打印头。第一种 类型是通过热能在墨水中产生的气泡膨胀力来喷射墨滴的热喷墨打印头。另 一种类型是通过压电体变形而施加给墨水的压力来喷射墨滴的压电喷墨打 印头。现在将详细说明热喷射打印头的墨滴喷射机制。当向包含热电阻器的加 热器施加脉冲电流时，加热器产生热并将加热器附近的墨水迅速加热到约300°C,从而煮沸墨水。因此，墨水蒸发产生了墨水气泡，并且所产生的气 泡膨胀以向墨水腔内填充的墨水施加压力。结果，相应喷嘴周围的墨水以墨 滴形式从墨水腔中喷射出来。为了驱动喷墨打印头，喷墨打印机中的驱动系统通过柔性印刷电路板 (FPCB)、衬垫、逻辑电路单元、功率晶体管以及布线将驱动信号传输到加热 器。如果加热器的电阻增加，则加热器电阻与总电阻的比值增加，从而改善 能效。由于通过高压也能驱动加热器，需要用于驱动加热器的时间减少，从 而增加在特定时间期间内能够被驱动的加热器数量并改本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨打印头的加热器，该加热器由钽铝氮氧化物形成，　其中所述钽铝氮氧化物由约３０至约６０原子百分比的钽、约１０至约３０原子百分比的铝、约５至约３０原子百分比的氧和５至约３０原子百分比的氮形成。

【技术特征摘要】
KR 2008-6-17 57026/081、一种喷墨打印头的加热器，该加热器由钽铝氮氧化物形成，其中所述钽铝氮氧化物由约30至约60原子百分比的钽、约10至约30原子百分比的铝、约5至约30原子百分比的氧和5至约30原子百分比的氮形成。2、 根据权利要求1所述的加热器，具有约300至约1500juI2cm的电阻率。3、 根据权利要求1所述的加热器，具有纳米晶结构或非晶结构。4、 根据权利要求1所述的加热器，包含钽-铝合金、钽的氮化物、钽的 氧化物和氧化铝。5、 根据权利要求1所述的加热器，具有约300至约3000A的厚度。6、 一种在衬底上制造喷墨打印头的加热器的方法，该方法包含通过反 应賊射在所述衬底上沉积由钽铝氮氧化物形成的所述加热器，其中所述钽铝氮氧化物由约30至约60原子百分比的钽、约10至约30 原子百分比的铝、约5至约30原子百分比的氧，以及约5至约30原子百分 比的氮形成。7、 根据权利要求6所述的方法，其中在沉积所迷加热器期间，所述衬 底的温度在约20至约350°C的范围内，氧气流速和氮气流速的总和与氩气 流速的比值在0.1:1至0.4:1的范围内，氧气流速与氮气流速的比值在0.1:1 至10:1的范围内。8、 根据权利要求6所述的方法，其中所述加热器被沉积到约300至约 3000A的厚度。9、 一种喷墨打印头，其包含具有墨水供给孔的衬底，其中通过所述墨水供给孔供应墨水；加热器，其设置在所述衬底上并适于加热墨水且产生气泡；电极，其设置在所述加热器上将电流供应到所述力口热器；腔室层，其堆叠在所述衬底上支撑将在腔室层内形成的多.个墨水腔；以及喷嘴层，其堆叠在所述腔室层上使多个喷嘴形成于该喷嘴层内；其中，所述加热器由钽铝氮氧化物形成，并且所述钽铝氮氧化物由约30至约60原子百分比的钽、约10至约30原子百分比的铝、约5至约30原子 百分比的氧和5至约30原子百分比的氮形成。10、 根据权利要求9所述的喷墨打印头，其中所述加热器具有约300至 约1500^cm的电阻率。11、 根据权利要求9所述的喷墨打印头，其中所述加热器具有约300至 30...

【专利技术属性】
技术研发人员：金敬镒，朴性俊，徐准佑，崔鎣，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]