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喷墨打印头的加热器及该加热器的制造方法技术
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文档序号:4267877
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本发明提供一种喷墨打印头的加热器及该加热器的制造方法。该加热器由钽铝氮氧化物(Ta-Al-ON)形成,其中该钽铝氮氧化物由约30至约60原子百分比的钽、约10至约30原子百分比的铝、约5至约30原子百分比的氧,以及约5至约30原子百分比的氮...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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