【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造，具体而言，涉及一种平板电容器及其制作方法。
技术介绍
1、平板电容器中具有相对设置的上极板和下极板，在平板电容器感测如声音，压力，气流等的应用过程中，上极板和下极板之间的距离会发生变化，从而通过上极板和下极板之间的电容的变化来感知信号，为了防止上极板与下极板在靠近时粘连在一起，通常会在上极板靠近下极板的一侧设置防粘连结构，但是目前设有的防粘连结构存在防粘连效果较差的缺陷，上极板中的防粘连结构在接触到下极板之后比较难与下极板分开，导致降低平板电容器的可靠性和重复使用次数，基于此，如何提升平板电容器中防粘连结构的防粘连效果是亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的实施例提供了一种平板电容器及其制作方法，基于本申请提供的技术方案能提升平板电容器中防粘连结构的防粘连效果。
2、本申请的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本申请的实践而习得。
3、根据本申请实施例的第一方面，提供了一种平板电容器，包括：衬底，设置有通孔；支撑层...
【技术保护点】
1.一种平板电容器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，所述尖锐部包括呈尖角状的尖端，所述尖端的角度大于或等于30°且小于或等于50°。
3.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，所述第二极板薄膜层的远离所述第一极板薄膜层一侧的表面具有第一凹槽，所述第一凹槽正对于所述防粘连结构设置。
4.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，在垂直于所述衬底表面的方向上，所述防粘连结构的高度与所述隔垫层的高度的比值为1/4～1/2。
5.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，在垂直于所述...
【技术特征摘要】
1.一种平板电容器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，所述尖锐部包括呈尖角状的尖端，所述尖端的角度大于或等于30°且小于或等于50°。
3.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，所述第二极板薄膜层的远离所述第一极板薄膜层一侧的表面具有第一凹槽，所述第一凹槽正对于所述防粘连结构设置。
4.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，在垂直于所述衬底表面的方向上，所述防粘连结构的高度与所述隔垫层的高度的比值为1/4～1/2。
5.根据权利要求1所述的平板电容器，其特征在于，在垂直于所述衬底表面的方向上，所述第二极板薄膜层在未设置有所述防粘连结构处的高度大于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王飞飞，徐琦，徐宝盈，李健飞，杨志政，
申请(专利权)人：赛莱克斯微系统科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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