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本申请的实施例提供了一种平板电容器及其制作方法,所述平板电容器包括:衬底,设置有通孔;支撑层,设置在所述衬底一侧;第一极板薄膜层,设置在所述支撑层的远离所述衬底一侧,覆盖所述通孔;隔垫层,包括层叠设置在所述第一极板薄膜层的远离所述支撑层一侧...该专利属于赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司授权不得商用。
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本申请的实施例提供了一种平板电容器及其制作方法,所述平板电容器包括:衬底,设置有通孔;支撑层,设置在所述衬底一侧;第一极板薄膜层,设置在所述支撑层的远离所述衬底一侧,覆盖所述通孔;隔垫层,包括层叠设置在所述第一极板薄膜层的远离所述支撑层一侧...