【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种辅助拆装治具和拆装装置。
技术介绍
1、在半导体制造技术中，离子注入工艺是通过把硅片放在离子注入机的真空靶室中，通过加高电压，把所需元素的离子注入到硅片表层，从而使硅片的物理或化学性能发生显著变化的一种工艺。由于离子注入工艺需要在高真空下进行作业，所以设备需要通过各类泵来达到高真空。
2、离子注入设备的分子泵重量大约30kg，重量过重，且多为圆形，不便于设备人员搬运、安装和固定螺丝。所以在人工搬运分子泵过程中容易发生掉落、拆装分子泵过程中容易发生磕碰，从而损坏分子泵的密封面和密封圈导致设备真空破坏。
3、为此，亟需提供一种辅助拆装治具和拆装装置以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种辅助拆装治具和拆装装置，便于分子泵的搬运和装拆，避免分子泵发生磕碰。
2、为实现上述目的，提供以下技术方案：
3、辅助拆装治具，包括：
4、安装架；
5、第一辅助安装模块，包括转动设置有第一转动件的第一支架，至少四组所述第一支架间隔设置于所述安装架上；
6、第二辅助安装模块，包括升降平台和转动设置有第二转动件的第二支架，至少四组所述第二支架间隔设置于所述升降平台，所述升降平台设置于所述安装架上，所述第一转动件的转轴轴线与所述第二转动件的转轴轴线垂直。
7、作为辅助拆装治具的可选方案，所述第二辅助安装模块还包括升降驱动机构，所述升降驱动机构的固定端与所述安装
8、作为辅助拆装治具的可选方案，所述升降驱动机构为举升液压缸，所述举升液压缸的缸体固设于所述安装架，所述举升液压缸的伸缩杆与所述升降平台连接。
9、作为辅助拆装治具的可选方案，所述第二辅助安装模块还包括液压泵、液压管和控制件，所述举升液压缸通过所述液压管与所述液压泵连接，所述控制件设置于所述液压管上。
10、作为辅助拆装治具的可选方案，所述升降驱动机构为齿轮齿条结构，所述齿条竖直设置于所述安装架上，所述齿轮转动设置于所述升降平台，所述齿轮与所述齿条啮合传动。
11、作为辅助拆装治具的可选方案，所述升降驱动机构为丝杠滑台机构，所述丝杠转动设置于所述安装架上，所述滑台与所述升降平台连接，所述丝杠与所述滑台螺纹传动。
12、作为辅助拆装治具的可选方案，所述第一转动件和第二转动件均为滑轮。
13、作为辅助拆装治具的可选方案，所述安装架包括第一承载板、第二承载板和支撑柱，所述支撑柱竖直设置于所述第一承载板和所述第二承载板之间。
14、作为辅助拆装治具的可选方案，所述第一承载板上开设有避让开口，所述第一辅助安装模块设置于所述第一承载板，所述第二辅助安装模块设置于所述第二承载板，且所述避让开口与所述第二辅助安装模块上下正对。
15、作为辅助拆装治具的可选方案，所述第二承载板的底部设置万向轮。
16、与现有技术相比，本技术的有益效果：
17、本技术所提供的辅助拆装治具，在安装架上安装有第一辅助安装模块和第二辅助安装模块，至少四组第一支架安装在安装架上，每组第一支架上安装有第一转动件，分子泵可以放置于多个第一转动件上，方便分子泵的自转，将辅助拆装治具推至设备的预安装位置时，通过分子泵的自转，使分子泵的密封面与设备的安装孔位对齐。升降平台安装在安装架，在升降平台上安装有至少四组第二支架，每组第二支架上安装有第二转动件，通过升降平台来改变第二转动件的高度。当升降平台提升第二转动件至大于第一转动件的高度时，可以将分子泵由于多个第一转动件转接到多个第二转动件上，由于第二转动件的转轴轴线与第一转动件的转轴轴线垂直，使两种转动件的转动方向不同，便于将分子泵推向设备，使分子泵的密封面与设备的安装面贴合，采用连接螺栓将分子泵安装到设备上，降低分子泵的搬运和装拆难度，避免分子泵发生磕碰。
18、本技术所提供的拆装装置，将辅助拆装治具安装于手动液压升降车上，手动液压升降车的底部设置万向轮，方便辅助拆装治具的整体横向移动和纵向移动，降低分子泵的搬运和装拆难度，避免分子泵发生磕碰。
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1.辅助拆装治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述第二辅助安装模块(3)还包括升降驱动机构(34)，所述升降驱动机构(34)的固定端与所述安装架(1)连接，所述升降驱动机构(34)的升降端与所述升降平台(31)连接。
3.根据权利要求2所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述升降驱动机构(34)为举升液压缸，所述举升液压缸的缸体固设于所述安装架(1)，所述举升液压缸的伸缩杆与所述升降平台(31)连接。
4.根据权利要求3所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述第二辅助安装模块(3)还包括液压泵、液压管和控制件，所述举升液压缸通过所述液压管与所述液压泵连接，所述控制件设置于所述液压管上。
5.根据权利要求2所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述升降驱动机构(34)为齿轮齿条结构，所述齿条竖直设置于所述安装架(1)上，所述齿轮转动设置于所述升降平台(31)，所述齿轮与所述齿条啮合传动。
6.根据权利要求2所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述升降驱动机构(34)为丝杠滑台机构，所述丝杠转动设置于
7.根据权利要求1所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述第一转动件(21)和第二转动件(32)均为滑轮。
8.根据权利要求1所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述安装架(1)包括第一承载板(11)、第二承载板(12)和支撑柱(13)，所述支撑柱(13)竖直设置于所述第一承载板(11)和所述第二承载板(12)之间。
9.根据权利要求8所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述第一承载板(11)上开设有避让开口(111)，所述第一辅助安装模块(2)设置于所述第一承载板(11)，所述第二辅助安装模块(3)设置于所述第二承载板(12)，且所述避让开口(111)与所述第二辅助安装模块(3)上下正对。
10.拆装装置，其特征在于，包括手动液压升降车和如权利要求1-9任一项所述的辅助拆装治具，所述辅助拆装治具安装于所述手动液压升降车上，所述手动液压升降车的底部设置万向轮。
...【技术特征摘要】
1.辅助拆装治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述第二辅助安装模块(3)还包括升降驱动机构(34)，所述升降驱动机构(34)的固定端与所述安装架(1)连接，所述升降驱动机构(34)的升降端与所述升降平台(31)连接。
3.根据权利要求2所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述升降驱动机构(34)为举升液压缸，所述举升液压缸的缸体固设于所述安装架(1)，所述举升液压缸的伸缩杆与所述升降平台(31)连接。
4.根据权利要求3所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述第二辅助安装模块(3)还包括液压泵、液压管和控制件，所述举升液压缸通过所述液压管与所述液压泵连接，所述控制件设置于所述液压管上。
5.根据权利要求2所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述升降驱动机构(34)为齿轮齿条结构，所述齿条竖直设置于所述安装架(1)上，所述齿轮转动设置于所述升降平台(31)，所述齿轮与所述齿条啮合传动。
6.根据权利要求2所述的辅助拆装治具，其特征在于，所述升降...
【专利技术属性】
技术研发人员：王世冲，徐显涛，母凤文，郭超，
申请(专利权)人：青禾晶元晋城半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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