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本技术公开了一种辅助拆装治具和拆装装置,属于半导体制造技术领域。辅助拆装治具包括安装架;第一辅助安装模块,包括转动设置有第一转动件的第一支架,至少四组所述第一支架间隔设置于所述安装架上;第二辅助安装模块,包括升降平台和转动设置有第二转动件的...该专利属于青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青禾晶元(晋城)半导体材料有限公司授权不得商用。
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