一种真空镀膜机坩埚取出工具制造技术

技术编号:42665732 阅读:23 留言:0更新日期:2024-09-10 12:21
一种真空镀膜机坩埚取出工具,包括架设单元和撑开提起单元。架设单元用于在取出坩埚时架设在坩埚盘的坩埚槽上端,包括竖直设置的滑动部,滑动部外侧设有手持机构。撑开提起单元可升降地设于滑动部一侧,包括滑杆,滑杆一端设有一对竖杆,两个竖杆外周侧分别套设有转杆,转杆一端设有第二握把,另一端设有第二L型杆,其竖边的下端向竖边一侧面延伸有用于接触坩埚内侧壁的顶块。该真空镀膜机坩埚取出工具可以方便地从坩埚内部向外撑开地固定坩埚,然后将其提起,便于坩埚取出和转移,且人员可以不用佩戴隔热手套。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜机相关配件,尤其涉及一种真空镀膜机坩埚取出工具


技术介绍

1、真空镀膜机是一种需要在较高真空度下进行的镀膜设备,其具体种类包括很多,在较多的种类中主要镀膜原理包括蒸发和溅射两种,无论哪种镀膜原理,都需要将镀膜材料放置在坩埚中,然后将坩埚放置在坩埚盘的坩埚槽中进行镀膜,且镀膜过程中真空镀膜机内部温度会升高,不同的真空镀膜机,同一时间可放置数量坩埚可能不同。

2、由于工作后的坩埚温度较高,因此现有技术中,工作人员通常佩戴隔热手套取出坩埚,然而,真空镀膜机中使用的坩埚内径较小,在佩戴隔热手套后,手指及手套的总厚度较大,不便于伸入坩埚内,而且现有真空镀膜机的坩埚槽上端的高度与坩埚放入后的上端高度基本相同,也不便于从坩埚的外部拿取坩埚。


技术实现思路

1、针对上述缺陷,本技术提供一种真空镀膜机坩埚取出工具,可以方便地从坩埚内部向外撑开地固定坩埚,然后将其提起,便于坩埚取出和转移,且人员可以不用佩戴隔热手套。

2、为了实现本技术的目的,拟采用以下技术:

3、一种真空镀膜机坩埚取出工具,包括:

4、架设单元,用于在取出坩埚时架设在坩埚盘的坩埚槽上端,包括竖直设置的滑动部,滑动部外侧设有手持机构;

5、撑开提起单元,可升降地设于滑动部一侧,包括滑杆,滑杆一端设有一对竖杆,两个竖杆外周侧分别套设有转杆,转杆一端设有第二握把,另一端设有第二l型杆,其竖边的下端向竖边一侧面延伸有用于接触坩埚内侧壁的顶块。

6、进一步,滑动部一侧面开设有滑槽,滑杆滑动配合于滑槽内。

7、进一步,手持机构包括分别设于滑动部两侧面的第一l型杆,其一边的外端设有第一握把。

8、进一步,滑动部下端设有底座。

9、进一步,滑杆一端的下端部设有第一横板,第一横板下端设有一对竖杆,竖杆下端设有第二横板。

10、进一步,转杆上端面向下贯穿开设有与竖杆转动配合的竖槽。

11、进一步,第二l型杆竖边的下端向竖边外侧面延伸有横块,顶块设于横块一端。

12、本技术方案的有益效果在于:

13、1、通过第二l型杆可以控制顶块方便地从坩埚内部向外撑开并固定坩埚,然后可将坩埚提起,便于坩埚取出。

14、2、通过手持机构可以将坩埚取出工具和坩埚整体转移,且人员在坩埚取出和转移过程中可以不用佩戴隔热手套。

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【技术保护点】

1.一种真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)一侧面开设有滑槽,滑杆(21)滑动配合于滑槽内。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,手持机构包括分别设于滑动部(11)两侧面的第一L型杆(12),其一边的外端设有第一握把(13)。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)下端设有底座(14)。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑杆(21)一端的下端部设有第一横板,第一横板下端设有一对竖杆(23),竖杆(23)下端设有第二横板。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,转杆(24)上端面向下贯穿开设有与竖杆(23)转动配合的竖槽(26)。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,第二L型杆(27)竖边的下端向竖边外侧面延伸有横块,顶块(28)设于横块一端。

【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)一侧面开设有滑槽,滑杆(21)滑动配合于滑槽内。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,手持机构包括分别设于滑动部(11)两侧面的第一l型杆(12),其一边的外端设有第一握把(13)。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)下端设有底座(14)。

【专利技术属性】
技术研发人员:罗勇王恒
申请(专利权)人:成都兴南真科科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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