【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机相关配件,尤其涉及一种真空镀膜机坩埚取出工具。
技术介绍
1、真空镀膜机是一种需要在较高真空度下进行的镀膜设备,其具体种类包括很多,在较多的种类中主要镀膜原理包括蒸发和溅射两种,无论哪种镀膜原理,都需要将镀膜材料放置在坩埚中,然后将坩埚放置在坩埚盘的坩埚槽中进行镀膜,且镀膜过程中真空镀膜机内部温度会升高,不同的真空镀膜机,同一时间可放置数量坩埚可能不同。
2、由于工作后的坩埚温度较高,因此现有技术中,工作人员通常佩戴隔热手套取出坩埚,然而,真空镀膜机中使用的坩埚内径较小,在佩戴隔热手套后,手指及手套的总厚度较大,不便于伸入坩埚内,而且现有真空镀膜机的坩埚槽上端的高度与坩埚放入后的上端高度基本相同,也不便于从坩埚的外部拿取坩埚。
技术实现思路
1、针对上述缺陷,本技术提供一种真空镀膜机坩埚取出工具,可以方便地从坩埚内部向外撑开地固定坩埚,然后将其提起,便于坩埚取出和转移,且人员可以不用佩戴隔热手套。
2、为了实现本技术的目的,拟采用以下技术:
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【技术保护点】
1.一种真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)一侧面开设有滑槽,滑杆(21)滑动配合于滑槽内。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,手持机构包括分别设于滑动部(11)两侧面的第一L型杆(12),其一边的外端设有第一握把(13)。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)下端设有底座(14)。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑杆(21)一端的下端部设有第一横
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)一侧面开设有滑槽,滑杆(21)滑动配合于滑槽内。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,手持机构包括分别设于滑动部(11)两侧面的第一l型杆(12),其一边的外端设有第一握把(13)。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机坩埚取出工具,其特征在于,滑动部(11)下端设有底座(14)。
【专利技术属性】
技术研发人员:罗勇,王恒,
申请(专利权)人:成都兴南真科科技有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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