【技术实现步骤摘要】
本专利技术是与集尘装置有关,特别是有关于一种集尘设备的漩涡式吸嘴。
技术介绍
现有的集尘设备,其主要结构大多以一抽气马达借由一吸头将灰尘集中于一处, 以达到除尘的目的,或是利用一出气马达将气体由一出气管喷出,将灰尘吹散,把较大的碎 屑吹至同一处,同样可达集中灰尘的目的。 然而,现有集尘设备对于较细微的灰尘粒子却无法有效的处理,因微小的灰尘粒 子受风的面积较小,而无法单凭吸力就可移除,而此等问题在需要彻底除尘的地方如晶 圆、面板等厂房就会造成很大的问题,因为微小的灰尘粒子可能导致该晶圆或面板的损伤, 如此一来,此种情形将加大面板或晶圆的不良率,具有增加成本的缺点。 综上所陈,现有除尘设备具有上述的缺失而有待改进。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种漩涡式吸嘴,其能够除去灰尘,具有吸除微小灰 尘粒子的特色。 为达成上述目的,本专利技术所提供的一种用于集尘设备的漩涡式吸嘴,包含有一块 体底面凹设有一环状槽;一进气口设于该块体表面,该进气口向内凹设有一进气道;至少 一喷气口设于该块体底面,该喷气口向内凹设有一喷气道,该喷气道连通该进气道与该环 状槽,且该喷气 ...
【技术保护点】
一种用于集尘设备的漩涡式吸嘴,其特征在于,包含有:一块体,底面凹设有一环状槽;一进气口设于该块体表面,该进气口向内凹设有一进气道;至少一喷气口设于该块体底面,该喷气口向内凹设有一喷气道,该喷气道连通该进气道与该环状槽,且该喷气口的喷气方向与该环状槽的中心相夹一预定角度;一吸气口设于该块体底面,该吸气口位于该环状槽所围绕的区域中间,该吸气口向内凹设有一吸气道,该吸气道自该块体底面贯穿至顶面,而于顶面形成一出气口。
【技术特征摘要】
一种用于集尘设备的漩涡式吸嘴,其特征在于,包含有一块体,底面凹设有一环状槽;一进气口设于该块体表面,该进气口向内凹设有一进气道;至少一喷气口设于该块体底面,该喷气口向内凹设有一喷气道,该喷气道连通该进气道与该环状槽,且该喷气口的喷气方向与该环状槽的中心相夹一预定角度;一吸气口设于该块体底面,该吸气口位于该环状槽所围绕的区域中间,该吸气口向内凹设有一吸气道,该吸气道自该块体底面贯穿至顶面,而于顶面形成一出气口。2. 根据权利要求1所述的用于集尘设备的漩涡式吸嘴,其特征在于该块体系由一上 罩部、一柱状体以及一底板所组成,该上罩部表面凹设有该进气口 ,该进气口向内凹设有一 前进气道,该上罩部底面凹设有一容室,该柱状体可借由至少一固定件结合于...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶公旭,苏纪为,郑郁翰,
申请(专利权)人:东捷科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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