【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高纯材料提纯和成型领域，特别是涉及一种低氧超纯锡棒的制备装置。
技术介绍
1、锡是重要的战略资源，我国锡储量丰富，精锡年产量约15万吨，占全球产量的40％以上，锡是我国的优势特色资源，高纯锡作为一种新兴的功能材料，广泛应用于航空航天中合金制造、电子信息中半导体材料等方面，已成为支撑人类高科技发展的关键材料，随着国内外电子工业、原子能工业和航空工业的飞速发展，对高纯锡的用量日益增多，社会对锡材料的需求量逐渐增大。
2、超纯锡广泛用于半导体工业中和制造超导合金。超纯锡是一种很有前途的功能材料，广泛应用于国防、航天航空、电子工业及原子能工业，主要用于制备化合物半导体、高纯合金、超导材料、焊料及作为化合物半导体掺杂剂及极紫外光刻技术光源等。
3、目前，超纯锡是电子工业技术的关键材料，特别是在极紫外光刻技术光源上的使用要求极高，对材料的纯度、氧含量、外形尺寸等方面都有严格的要求；超纯锡棒的纯度要求≥99.999995％，氧含量≤1ppm，产品外管表面光滑且有金属光泽。在常规的制备装置在实施过程中难免会引入其他...
【技术保护点】
1.一种低氧超纯锡棒的制备装置，其特征在于：包括装置平台、安装在平台上的可调速升降装置，用于锡棒成型时的上下移动控制；装置平台上还设置有锡棒成型装置腔体，成型装置腔体主要用于低氧超纯锡棒的制备；成型装置腔体的外部为成型装置的加热机构，加热机构由成型段加热装置和脱氧段加热装置两部分组成，加热机构与成型装置腔体配合；锡棒成型装置的内部形成腔体，成型装置腔体内安装有成型内件装置；成型内件装置包括内件组装外管、成型模具、模具固定座、原料储存锥形管，成型模安装在模具固定座上；高纯锡料锭放置于原料储存锥形管内；原料储存锥形管的底部放置有石英脱氧填料，用于化料时除去锡液体内的氧化膜...
【技术特征摘要】
1.一种低氧超纯锡棒的制备装置，其特征在于：包括装置平台、安装在平台上的可调速升降装置，用于锡棒成型时的上下移动控制；装置平台上还设置有锡棒成型装置腔体，成型装置腔体主要用于低氧超纯锡棒的制备；成型装置腔体的外部为成型装置的加热机构，加热机构由成型段加热装置和脱氧段加热装置两部分组成，加热机构与成型装置腔体配合；锡棒成型装置的内部形成腔体，成型装置腔体内安装有成型内件装置；成型内件装置包括内件组装外管、成型模具、模具固定座、原料储存锥形管，成型模安装在模具固定座上；高纯锡料锭放置于原料储存锥形管内；原料储存锥形管的底部放置有石英脱氧填料，用于化料时除去锡液体内的氧化膜；成型装置的上部设置有气体管路组件，气体管路组件于腔体连通，用于对腔体内的气体控制；气体管路组件上还连接有真空系统管路，用于给腔体内抽真空。
2.根据权利要求1所述的一种低氧超纯锡棒的制备装置，其特征在于：所述气体管路组件包括气体进气管路和抽真空系统管路两部分；所述氢气进气管路上设置有进气流量控制阀和氢气流量计，用于调节进气流量的大小；所述真空系统管路上设置有真空控制阀和压力传感器；所述进气管道上还设置有泄压装置，装置上设置有泄压管道控制阀，用于控制过程中的尾气排放。
3.根据权利要求2所述的一种低氧超纯锡棒的制备装置，其特征在于：所述真空系统管道控制阀、氢气进气管道控制阀和泄压管道控制阀均可以响应控制模块的控制命令而进行操作控制；所述氢气进气上还设置有氢气流量计，氢气流量计配合氢气进气管道控制阀使用，用于调节氢气进气流量；所述控制模块可以设置相应的操作控制程序，响应于抽真空启动和真空系统管道控制阀的操作；响应于氢气进气管道控制阀的操作和调节氢气进气流量大小；响应于泄压管道控制阀的操作，进行尾气的排放；所述氢气进气管道进气口伸入至原料储存锥形管内，便于在脱氧过程中物料尽可能接触氢气，以提升超纯锡材料的脱氧效果。
4.根据权利要求3所述的一种低氧超纯...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷聪，钟连兵，张程，任伟，杨武勇，蒋杰昌，雷云棣，杨蜀，
申请(专利权)人：东方电气乐山峨半高纯材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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