用于阵列测试装置的光卡盘制造方法及图纸

本发明专利技术提供了用于阵列测试装置的光卡盘，该光卡盘防止了基板偏斜并因此不会在基板上造成刮痕。该光卡盘包括：测试单元，待测试的基板设置于该测试单元上；引导槽，沿与传送基板的方向垂直的方向形成在测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔，形成在引导槽中，并排出空气以将基板浮起；以及空气引导件，布置在气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与空气引导件碰撞并被引导至引导槽。

【技术实现步骤摘要】

下面的描述涉及一种用于阵列测试装置(array tester)的光卡 盘(optic chuck),该阵列测试装置用于4企测形成在平面显示器 (FPD)基纟反上的电才及的电击失陷。
技术介绍
通常，阵列测试装置是用于在制造显示面板时检测形成在基板 上的电极的缺陷的装置。显示面^反包括诸如液晶显示器(LCD)、 等离子显示面4反(PDP)、有4几发光二极管(OLED)等的平面显示 器。例如，阵列测试装置^r测形成在LCD面板的薄膜晶体管(TFT ) 基板上的电极的任何缺陷。通常的TFT LCD基板包括TFT基板、 上面形成有滤色片和共用电极并且与TFT基板相对的彩色基板 (color substrate )、注入到TFT基才反和彩色基玲反之间的液晶、以及 背光。传统的阵列测试装置包括光卡盘、光源、调制器、传感器等。 其上i殳置有待测试基寿反的光卡盘中可以具有多个气孔，以将基寿反吸 附于其上或者与基板分离。光源是用于照射光的装置。从光源照出的光用于检测基板电极的任何缺陷。相对于光卡盘，调制器与光源 布置在同一侧，或者与光源相对。从光源照出的光穿过调制器的出 射面。传感器根据从调制器出射本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于阵列测试装置的光卡盘，包括：　测试单元，待测试的基板设置于所述测试单元上；　引导槽，沿与传送所述基板的方向垂直的方向形成在所述测试单元的前部或后部附近；　至少一个气孔，形成在所述引导槽中，并排出空气以将所述基板浮起 ；以及　空气引导件，布置在所述气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与所述空气引导件碰撞并被引导至所述引导槽。

【技术特征摘要】
KR 2008-8-18 10-2008-00804881.一种用于阵列测试装置的光卡盘，包括测试单元，待测试的基板设置于所述测试单元上；引导槽，沿与传送所述基板的方向垂直的方向形成在所述测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔，形成在所述引导槽中，并排出空气以将所述基板浮起；以及空气引导件，布置在所述气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与所述空气引导件碰撞并被引导至所述引导槽。2. 根据权利要求1所述的光卡盘，其中，沿传送所述基板的方向 形成有另外...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文柱，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[]