【技术实现步骤摘要】
本技术属于测量装置领域，具体地说，涉及刻蚀机真空管道同步测量夹具。
技术介绍
1、刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况，进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。
2、为了保证真空管道的气密性，需要对真空管道进行气密性测试，在进行气密性测试时需要先将管道固定，随后利用注气设备进行注气的方式，观察气压表的值来断定真空管道的气密性，现有技术进行测试时需要先完成对管道的固定再与注气设备进行对接较为繁琐，有鉴于此特提出本技术。
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【技术保护点】
1.刻蚀机真空管道同步测量夹具，其特征在于，包括底座(1)、测试台(2)、内衬嘴(5)和弧形夹板(6)，所述底座(1)的上方设有测试台(2)，在测试台(2)的上端分别设有移动座(3)和固定座(4)，移动座(3)和固定座(4)的相对面中部均安装有内衬嘴(5)，两个所述内衬嘴(5)的上下两侧均设有供中空管道固定的弧形夹板(6)，其中一个内衬嘴(5)的内部安装有注气嘴(7)，其中另一个注气嘴(7)的内部安装有气压表(8)，四个所述弧形夹板(6)的外部均固定安装有传动块(9)，在每个传动块(9)的侧部均固定安装有滑块(10)，每个滑块(10)均与滑轨(11)滑动连接，四个滑轨...
【技术特征摘要】
1.刻蚀机真空管道同步测量夹具，其特征在于，包括底座(1)、测试台(2)、内衬嘴(5)和弧形夹板(6)，所述底座(1)的上方设有测试台(2)，在测试台(2)的上端分别设有移动座(3)和固定座(4)，移动座(3)和固定座(4)的相对面中部均安装有内衬嘴(5)，两个所述内衬嘴(5)的上下两侧均设有供中空管道固定的弧形夹板(6)，其中一个内衬嘴(5)的内部安装有注气嘴(7)，其中另一个注气嘴(7)的内部安装有气压表(8)，四个所述弧形夹板(6)的外部均固定安装有传动块(9)，在每个传动块(9)的侧部均固定安装有滑块(10)，每个滑块(10)均与滑轨(11)滑动连接，四个滑轨(11)分别固定在移动座(3)和固定座(4)的相对面上，所述固定座(4)和移动座(3)的侧壁上下两端均通过支座(12)固定安装有电动推杆(13)，每个电动推杆(13)的伸缩端均与滑块(10)固定连接，所述测试台(2)的一侧安装有控制面板(14)。
2.根据权利要求1所述的刻蚀机真空管道同步测量夹具，其特征在于，每个所述弧形夹板(6)的中部均粘接有防滑垫(15)，且防滑垫(15)的本身材质为橡胶材质。
3.根据权利要求1所述的刻蚀机真空管道同步测量夹具，其特征在于，所述测试台(2)的中部开设有供丝杆(16)安装的腔体，在腔体的一侧通过轴承安装有丝杆(16)，且丝杆(16)的另一端通过联轴器与电机(17)的输出轴固定连接，所述电机(17)通过导线与控制面板(14)电路连接，转动的所述丝杆(16)将带动螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋晖晖，
申请(专利权)人：南京尹特利微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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