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本技术公开了刻蚀机真空管道同步测量夹具,涉及测量装置技术领域。本技术包括底座、测试台、内衬嘴和弧形夹板,所述底座的上方设有测试台,在测试台的上端分别设有移动座和固定座,移动座和固定座的相对面中部均安装有内衬嘴,两个所述内衬嘴的上下两侧均设有...该专利属于南京尹特利微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京尹特利微电子科技有限公司授权不得商用。
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