【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及mems微镜，特别是涉及一种mems微镜、及其阻尼控制方法、系统及介质。
技术介绍
1、在mems微镜
中，常通过提升mems微镜的阻尼，进而减小微镜的振动幅度。较小的振动幅度有助于保持微镜的稳定性和精确性，特别是在需要高精度定位的应用中，稳定的微镜系统有助于提高设备的可靠性和长期稳定性。
2、现有的阻尼控制方案中，通常采用改变空气阻尼的方式来控制mems微镜阻尼，其中通过减小空气阻尼以提升mems微镜在谐振状态下角度响应；另外通常配合pid控制实现动态控制效果，如图1所示。
3、但是上述方案中，通过控制算法提升mems微镜的系统阻尼，对于减少振动、超调量和衰减时间有一定作用，但只能部分提升；而且控制算法需要依赖传感器来获取微镜的运动状态信息，这会导致阻尼的优化效果受限于传感器的精度。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于，提供一种mems微镜、及其阻尼控制方法、系统及介质，进而解决现有技术中存在的上述所有问题或问题之一。
2、为解...
【技术保护点】
1.一种MEMS微镜，其特征在于，包括：微镜本体及设置于所述微镜本体上的内部阻尼和外部阻尼。
2.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的MEMS微镜，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的MEMS微镜，其特征在于：
6.一种阻尼控制方法，其特征在于，用于权利要求1所述的MEMS微镜中，所述方法包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的阻尼控制方法，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的阻尼控制方法，其特
【技术特征摘要】
1.一种mems微镜，其特征在于，包括：微镜本体及设置于所述微镜本体上的内部阻尼和外部阻尼。
2.根据权利要求1所述的mems微镜，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的mems微镜，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的mems微镜，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的mems微镜，其特征在于：
6.一种阻尼控制方法，其特征在于，用于权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴港，余晖俊，刘健，
申请(专利权)人：苏州鉴微传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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