温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种MEMS微镜、及其阻尼控制方法、系统及介质，所述方法包括以下步骤：采用双传感器模组监测微镜本体的运动状态及振动状态，根据振动状态反馈振动信号；根据反馈的振动信号计算振动控制力，基于振动控制力对微镜本体进行电磁阻尼线圈驱动，基...
该专利属于苏州鉴微传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州鉴微传感科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。