一种具有两个一维MEMS微镜同步扫描的光探测和测距装置制造方法及图纸

本申请提出一种光探测和测距装置，即激光雷达（liDAR）。该激光雷达包括光源，该光源为激光；鲍威尔棱镜（powell lens），所述光源被所述鲍威尔棱镜整形成一个张角大于20°的线性光束，以扫描指定的空间区域;还包括配置为操纵线性光束偏转并将光束朝向目标区域进行扫描的第一微机电系统(MEMS)微镜，第一MEMS微镜配置为一维偏转，从而以指定的角度引导光束指向指定的方向；LiDAR装置还包括光探测器，该光探测器用于接收从位于目标扫描区域内的一个或多个对象反射的光束；LiDAR装置还包括第二MEMS微镜，第二MEMS微镜相对于光源在单一个方向上偏转，在同一时刻，第一和第二MEMS微镜指向相同的方向，以使得光源的发射光束在目标物体上的反射光能够被探测器接收。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式总体涉及光探测和测距装置(lidar)，具体地，本专利技术的实施方式涉及用于操作自动驾驶车辆的lidar。

技术介绍

1、lidar技术已经广泛用于军事、地理、海洋，并且在最近十年用于自动驾驶车辆。其他方面暂且不说，lidar在自动驾驶车辆中的应用已经受到高成本的阻碍。lidar装置可在扫描场景的同时估测到对象的距离，从而汇总出表示对象的反射表面的点云。可通过发送激光脉冲并且检测从对象反射的返回脉冲(如果存在返回脉冲)以及根据发送脉冲与接收到反射脉冲之间的时间延迟确定到对象的距离来确定点云中的各个点。一束或者多束激光可快速且重复地扫遍场景，从而提供与到场景中的反射对象的距离相关的连续的实时信息。

2、如cn114415192a披露的一种lidar。参照图2,lidar内含有一个二维mems微镜，微镜做二维扫描；还含有光接收器，该接收器为面阵apd二维阵列。

技术实现思路

1、本申请公开了一种光探测和测距装置，包括：光源，发射光束，；鲍威尔棱镜，将光源整形成线性光束；第一mems本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.光探测和测距装置，包括：光源，被准直成一个张角大于20°的线性光束以扫描与目标扫描区域有关的范围；第一微机电系统(MEMS)微镜（以下简称MEMS微镜），配置为操纵线性光束发生一维偏转并将光束朝向目标区域进行扫描，其中，所述第一微型机电系统镜配置为相对于所述光源在一维方向上偏转，从而以指定的角度引导所述光束；第二MEMS微镜，所述第二MEMS微镜定位成接收从所述目标扫描区域内的对象上的所述光束的反射光并且将所接收的光束引导至所述光探测器；光探测器，接收从第二MEMS微镜上获得的反射光。

2.根据权利要求1所述的光探测和测距装置，其中，所述第一和第二MEMS微镜配置为在一维...

【技术特征摘要】

1.光探测和测距装置，包括：光源，被准直成一个张角大于20°的线性光束以扫描与目标扫描区域有关的范围；第一微机电系统(mems)微镜（以下简称mems微镜），配置为操纵线性光束发生一维偏转并将光束朝向目标区域进行扫描，其中，所述第一微型机电系统镜配置为相对于所述光源在一维方向上偏转，从而以指定的角度引导所述光束；第二mems微镜，所述第二mems微镜定位成接收从所述目标扫描区域内的对象上的所述光束的反射光并且将所接收的光束引导至所述光探测器；光探测器，接收从第二mems微镜上获得的反射光。

2.根据权利要求1所述的光探测和测距装置，其中，所述第一和第二mems微镜配置为在一维偏转，并且在相同时刻偏转的角度相同，以使得第一和第二mems微镜指向相同的空间范围。

3.根据权利要求1所述的光探测和测距装置，其中，所述第一和第二mems微镜的反射表面上镀有对所述光束具有高反射率的镀膜，其中，第一mems微镜的反射表面用于将所述光束投射到指定空...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘健，余晖俊，
申请(专利权)人：苏州鉴微传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：