【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体储存运输，尤其涉及一种光罩的储存装置及运输装置。
技术介绍
1、光罩，又称掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版等，是集成电路制造中光刻工艺所使用的图形母版，一般是由石英玻璃作为衬底，在其表面镀一层金属铬和感光胶，把已设计好的电路图通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形。
2、光罩在运输或者储存时会受到静电效应，对光罩造成损伤。现在主要采用鼓风机吹风式去离子方法和超声波水雾去离子方法。鼓风机吹风式去离子方法在使用时能源消耗较大，且在吹风时灰尘容易附着到光罩上；超声波水雾去离子方法使用时需要保持水的洁净度，且光罩一直处于潮湿的环境以及噪音较大。这些方法对去离子效果有限，并且无法对光罩进行有效的储存。
技术实现思路
1、本技术提供一种光罩的储存装置及运输装置，以解决如何储存光罩避免受到颗粒和静电的损伤的技术问题。
2、本技术实施例提供一种光罩的储存装置，该储存装置包括：本体，所述本体包围形成容纳腔，所述光罩位于所述容纳腔内，所述本体还具有与所述容纳腔连通的充气口和排气孔；所述充气口与充气装置连通，利用所述充气装置对所述容纳腔内填充惰性气体；其中，所述排气孔的数量为多个，且至少存在两个所述排气孔朝向两个不同的方向进行排气。
3、进一步地，所述本体为立方体结构，所述排气孔分别位于所述本体的顶部和侧部。
4、进一步地，所述容纳腔具有多个子容纳腔，各子容纳腔相互分隔且均用于放置所述光罩。
6、进一步地，至少部分所述子容纳腔在竖直方向上设置，在所述竖直方向上，所述子容纳腔之间具有可连通的平板结构。
7、进一步地，所述平板结构为可闭合百叶窗。
8、进一步地，所述排气孔具有可闭合扇叶装置。
9、进一步地，所述储存装置还具有气体浓度检测仪，所述气体浓度检测仪放置于所述容纳腔内，用于检测所述惰性气体的浓度。
10、本技术实施例提供一种运输装置，该运输装置包括：上述的储存装置；平板车，所述储存装置放置于所述平板车上。
11、进一步地，所述平板车具有带刹车功能的万向轮。
12、本技术提供一种光罩的储存装置及运输装置，该储存装置包括本体，本体包围形成容纳腔，光罩位于容纳腔内，本体还具有与容纳腔连通的充气口和排气孔；充气口与充气装置连通，利用充气装置对容纳腔内填充惰性气体；其中，排气孔的数量为多个，且至少存在两个排气孔朝向两个不同的方向进行排气。通过在容纳腔内填充惰性气体，可以避免静电的产生和灰尘的吸附，对光罩进行有效保护，避免光罩损伤，减少经济成本；在光罩使用完毕后放入容纳腔时，通过充气口输入惰性气体，惰性气体再通过排气孔排出时可以吹走黏附在光罩表面的电荷以及灰尘；在不放置光罩时，通过充气口输入气体从排气孔排出，可以对容纳腔内部进行清理，确保容纳腔内没有灰尘；同时至少两个排气孔朝向两个不同的方向进行排气，促进整个容纳腔内的气体的流动，达到整个容纳腔内部的清洗，避免容纳腔内存在灰尘死角。
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1.一种光罩的储存装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述储存装置，其特征在于，所述本体为立方体结构，所述排气孔分别位于所述本体的顶部和侧部。
3.根据权利要求1所述储存装置，其特征在于，所述容纳腔具有多个子容纳腔，各子容纳腔相互分隔且均用于放置所述光罩。
4.根据权利要求3所述储存装置，其特征在于，所述各子容纳腔具有独立的所述充气口和所述排气孔。
5.根据权利要求3所述储存装置，其特征在于，至少部分所述子容纳腔在竖直方向上设置，在所述竖直方向上，所述子容纳腔之间具有可连通的平板结构。
6.根据权利要求5所述储存装置，其特征在于，所述平板结构为可闭合百叶窗。
7.根据权利要求1所述储存装置，其特征在于，所述排气孔具有可闭合扇叶装置。
8.根据权利要求1所述储存装置，其特征在于，所述储存装置还具有气体浓度检测仪，所述气体浓度检测仪放置于所述容纳腔内，用于检测所述惰性气体的浓度。
9.一种运输装置，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述运输装置，其特征在于，所述平
...【技术特征摘要】
1.一种光罩的储存装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述储存装置，其特征在于，所述本体为立方体结构，所述排气孔分别位于所述本体的顶部和侧部。
3.根据权利要求1所述储存装置，其特征在于，所述容纳腔具有多个子容纳腔，各子容纳腔相互分隔且均用于放置所述光罩。
4.根据权利要求3所述储存装置，其特征在于，所述各子容纳腔具有独立的所述充气口和所述排气孔。
5.根据权利要求3所述储存装置，其特征在于，至少部分所述子容纳腔在竖直方向上设置，在所述竖直方向上，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯泳强，谢冬，叶琴，
申请(专利权)人：湖北星辰技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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