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本技术提供一种光罩的储存装置及运输装置，涉及半导体储存运输技术领域，该储存装置包括本体，本体包围形成容纳腔，光罩位于容纳腔内，本体还具有与容纳腔连通的充气口和排气孔；充气口与充气装置连通，利用充气装置对容纳腔内填充惰性气体；其中，排气孔的数...
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