【技术实现步骤摘要】
本申请属于热屏制备，具体涉及一种石英内屏及其制备方法、热屏、热场及单晶炉。
技术介绍
1、在直拉法生产硅单晶的工艺中，通常需要在生长炉的四周形成热场，热屏是组成拉晶热场的重要部件，利用热屏包覆在换热装置外侧，以起到隔热保温作用，此外，热屏作为单晶炉中重要的热场件之一，其在热场中的形状结构会影响单晶炉的温度梯度。
2、相关技术中单晶硅生长炉中应用的热屏通常采用石墨材料支撑，但石墨热屏的成本较高，并且在单晶硅生长过程中会造成单晶硅碳含量增加。因而，亟需一种新的热屏产品。
技术实现思路
1、本申请旨在提供一种石英内屏及其制备方法、热屏、热场及单晶炉，本申请提供的石英内屏能够替换石墨热屏，解决石墨热屏的成本较高，且在单晶硅生长过程中会造成单晶硅碳含量增加的问题，且能形成良好的温度梯度。
2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
3、第一方面，本申请实施例提出了一种石英内屏，所述石英内屏设有中空型腔，所述中空型腔具有沿第一方向相对的第一开口和第二开口，所述第一开口的内径大于所述第二开口的内径，且所述石英内屏在所述第一开口处的壁厚与在所述第二开口处的壁厚的差值为：-1mm～1mm。
4、在本申请实施例中，通过石英内屏替换石墨热屏，以解决石墨热屏的使用成本较高，且增加碳含量的问题。进一步地，通过设置石英内屏的中空型腔的第一开口大于第二开口，以使石英内屏呈上宽下窄的结构，从而能够在石英内屏的中空型腔内形成纵向梯度分布的热场。同时，通过控制石英内
5、第二方面，本申请实施例提出了一种石英内屏的制备方法，包括：
6、向成型模具的型腔内投入石英砂原料，以在所述型腔的内壁形成胚料层；
7、在总用电量处于第一预设范围内时，控制所述成型模具的转速为第一转速，并使电极棒在所述型腔内往复移动，以对所述胚料层进行加热；
8、在总用电量处于第二预设范围内时，控制所述转速为第二转速，并使所述电极棒在所述型腔内往复移动进行加热，所述第二转速大于所述第一转速；
9、在总用电量达到阈值时，结束所述电极棒的加热，控制所述转速为第三转速进行脱模得到石英内屏毛坯，所述第三转速小于所述第一转速；
10、采用切割装置对所述石英内屏毛坯的两端进行切割，以得到具有第一开口和第二开口的石英内屏。
11、本申请实施例中，采用石英砂原料在成型模具的型腔内壁形成胚料层，并利用电极棒产生的电弧对胚料层进行加热，在加热过程中，根据总用电量分阶段调节成型模具的转速，以改变成型模具在不同阶段的旋转离心力大小，通过调节离心力的大小以抵消由于重力作用熔融原料的流动，从而提高所成型的石英内屏的壁厚分布均匀性。
12、第三方面，本申请实施例提出了一种热屏，包括：外屏、保温层以及上述任一项所述的石英内屏；所述外屏设于所述石英内屏的外侧，所述外屏与所述石英内屏之间设有保温腔，所述保温层填充于所述保温腔内。
13、第四方面，本申请实施例提出了一种单晶炉热场，包括换热装置，以及上述的热屏，或上述的石英内屏，所述换热装置至少部分位于所述中空型腔内。
14、第五方面，本申请实施例提出了一种单晶炉，包括上述的单晶炉热场。
15、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种石英内屏，其特征在于，所述石英内屏设有中空型腔，所述中空型腔具有沿第一方向相对的第一开口和第二开口，所述第一开口的内径大于所述第二开口的内径，且所述石英内屏在所述第一开口处的壁厚与在所述第二开口处的壁厚的差值为：-1mm～1mm。
2.根据权利要求1所述的石英内屏，其特征在于，所述石英内屏上任意两个位置的壁厚差值为：-1mm～1mm；
3.根据权利要求1所述的石英内屏，其特征在于，所述石英内屏在所述第一开口处的外轮廓形成第一圆形，所述石英内屏在所述第二开口处的外轮廓形成第二圆形，所述第一圆形与所述第二圆形的同心度小于等于1mm；
4.一种石英内屏的制备方法，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的石英内屏的制备方法，其特征在于，所述第一转速为V1，所述第二转速V2，满足：1.03≤V2/V1≤1.075；
6.根据权利要求4所述的石英内屏的制备方法，其特征在于，所述向成型模具的型腔内投入石英砂原料，以在所述型腔的内壁形成胚料层，包括：
7.根据权利要求6所述的石英内屏的制备方法，其特征在于，所述总
8.一种热屏，其特征在于，包括：外屏、保温层以及如权利要求1-3任一项所述的石英内屏；所述外屏设于所述石英内屏的外侧，所述外屏与所述石英内屏之间设有保温腔，所述保温层填充于所述保温腔内；
9.一种单晶炉热场，其特征在于，包括换热装置，以及如权利要求8所述的热屏，或如权利要求1-3任一项所述的石英内屏，所述换热装置至少部分位于所述中空型腔内；
10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求9所述的单晶炉热场。
...【技术特征摘要】
1.一种石英内屏，其特征在于，所述石英内屏设有中空型腔，所述中空型腔具有沿第一方向相对的第一开口和第二开口，所述第一开口的内径大于所述第二开口的内径，且所述石英内屏在所述第一开口处的壁厚与在所述第二开口处的壁厚的差值为：-1mm～1mm。
2.根据权利要求1所述的石英内屏，其特征在于，所述石英内屏上任意两个位置的壁厚差值为：-1mm～1mm；
3.根据权利要求1所述的石英内屏，其特征在于，所述石英内屏在所述第一开口处的外轮廓形成第一圆形，所述石英内屏在所述第二开口处的外轮廓形成第二圆形，所述第一圆形与所述第二圆形的同心度小于等于1mm；
4.一种石英内屏的制备方法，其特征在于，包括：
5.根据权利要求4所述的石英内屏的制备方法，其特征在于，所述第一转速为v1，所述第二转速v2，满足：1.03≤v2/v1≤1.07...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅富然，孙继松，郭华盈，周洋，罗永剑，杨雪鹏，李济和，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。