一种坩埚托装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种坩埚托装置，坩埚托装置包括：保护管、底座、热电偶等，保护管由多个异形单体管依次套接或由多个规则单体管与多个双联单体管进行套接而成，该类保护管中相邻的彼此套接的两节管之间存在竖直方向上的交叠或嵌套，相邻的管之间嵌套部分的配合缝隙较长，接缝纵截面是曲折的，缝隙的内外端存在一定的高度差，从而使得保护管能较好地稳固为一体，能够避免粉体填充物漏出且不易破裂，从而克服现有技术保护管发生倾斜时会出现的技术问题，以使坩埚装出炉更安全，使坩埚下降法生长晶体更顺畅地进行，有助于提高晶体生长的成功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体生长装置领域，具体涉及一种坩埚托装置。

技术介绍

1、现有技术中托降式坩埚大气下降法的设备系统被称为托降式坩埚下降炉，在使用易变形的铂坩埚和底部呈尖锥状的石英坩埚和硼硅玻璃坩埚时，为了提升坩埚的稳定性，通常需要承托装置将坩埚固定在升降机构平台上，现有技术使用一种保护管作为坩埚的承托装置，具体来说，保护管一般由多个形状规则的直管在竖直方向上叠放而成，相邻的直管之间没有嵌套结构，各直管的管壁在直管的径向方向上没有重叠，保护管中填充粉体材料，且将坩埚埋设于保护管内的填充粉体材料中，从而对坩埚进行定位，并在相邻直管的接缝处的氧化铝粉末里插入陶瓷块来固定相邻直管。

2、在该现有技术使用过程中，装有坩埚的保护管设置在升降机构上，在升降机构作用下从大气下降炉底板的开口处进出炉膛，在此装炉过程中升降机构托举保护管时会存在倾斜现象，磕碰炉膛壁和过渡区卡口的风险较大。由于陶瓷块与保护管并非一体，没有牢牢地固定在一起，并且没有密排，因而经常会遇到保护管错位和少量氧化铝粉末漏出的现象，从而使坩埚倾斜和偏离中心位置，或者使坩埚底部与热电偶管之间的位置发本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种坩埚托装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种坩埚托装置，其特征在于，所述异形单体管(13)在管径平面上的截面为矩形环状或圆环状；所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为矩形环状，或所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为圆环状。

3.如权利要求1所述的一种坩埚托装置，其特征在于，所述双联单体管(12)中段的外侧壁上固定连接有凸台，所述凸台呈环体结构且其作为环体的中心线与双联单体管(12)以及规则单体管(11)的中心线相重合，且所述凸台的外径与规则单体管(11)的外径一致，规则单体管(11)与双联单体...

【技术特征摘要】

1.一种坩埚托装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种坩埚托装置，其特征在于，所述异形单体管(13)在管径平面上的截面为矩形环状或圆环状；所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为矩形环状，或所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为圆环状。

3.如权利要求1所述的一种坩埚托装置，其特征在于，所述双联单体管(12)中段的外侧壁上固定连接有凸台，所述凸台呈环体结构且其作为环体的中心线与双联单体管(12)以及规则单体管(11)的中心线相重合，且所述凸台的外径与规则单体管(11)的外径一致，规则单体管(11)与双联单体管(12)套接的一端与所述凸台朝向该规则单体管的表面相抵。

4.如权利要求1所述的一种坩埚托装置，其特征在于，还包括热电偶，所述热电偶固定设置于所述支撑板(22)上；

5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪祥，王栋，戴品强，张明荣，孔舒燕，沈仁奇，赵衡煜，
申请(专利权)人：福建理工大学，
类型：发明
国别省市：