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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶体生长装置领域,具体涉及一种坩埚托装置。
技术介绍
1、现有技术中托降式坩埚大气下降法的设备系统被称为托降式坩埚下降炉,在使用易变形的铂坩埚和底部呈尖锥状的石英坩埚和硼硅玻璃坩埚时,为了提升坩埚的稳定性,通常需要承托装置将坩埚固定在升降机构平台上,现有技术使用一种保护管作为坩埚的承托装置,具体来说,保护管一般由多个形状规则的直管在竖直方向上叠放而成,相邻的直管之间没有嵌套结构,各直管的管壁在直管的径向方向上没有重叠,保护管中填充粉体材料,且将坩埚埋设于保护管内的填充粉体材料中,从而对坩埚进行定位,并在相邻直管的接缝处的氧化铝粉末里插入陶瓷块来固定相邻直管。
2、在该现有技术使用过程中,装有坩埚的保护管设置在升降机构上,在升降机构作用下从大气下降炉底板的开口处进出炉膛,在此装炉过程中升降机构托举保护管时会存在倾斜现象,磕碰炉膛壁和过渡区卡口的风险较大。由于陶瓷块与保护管并非一体,没有牢牢地固定在一起,并且没有密排,因而经常会遇到保护管错位和少量氧化铝粉末漏出的现象,从而使坩埚倾斜和偏离中心位置,或者使坩埚底部与热电偶管之间的位置发生变化,造成坩埚装炉失败。坩埚托装置倾斜严重时,还会导致过渡区的卡口损坏,而不得不更换卡口,甚至重建炉膛。有时候会因坩埚变形严重而引起保护管破裂,大量氧化铝粉末漏出,坩埚严重倾斜,上部保护管被卡在卡口上,或者出现因坩埚爆裂而使坩埚内的熔体漏出并外挂在保护管壁料的现象,从而使晶体生长难以为继,不得不终止,使整个保护管内坩埚下降法晶体生长失败。对于多坩埚下降生长晶体的情形,保护管破
3、因此在装/出炉过程中发生保护管倾斜/碰撞时,现有技术中存在稳定性与安全性较差的缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了克服现有技术中的问题,提供了一种坩埚托装置,包括:
2、保护管,包括多个异形单体管,异形单体管包括彼此连接的小管段与大管段,异形单体管的小管段滑动套接于其相邻的另一个异形单体管的大管段内部,
3、或,保护管包括多个规则单体管与多个双联单体管,一个双联单体管的两端各滑动套接套接有一个规则单体管,且规则单体管滑动套接套接于双联单体管的外部;
4、底座,包括管状接头与支撑板,管状接头上端具有开口,且下端固定连接于支撑板的上表面,管状接头中可拆卸连接有一个异形单体管或规则单体管。
5、进一步地,异形单体管在管径平面上的截面为矩形环状或圆环状;规则单体管与双联单体管在管径平面上的截面为矩形环状,或规则单体管与双联单体管在管径平面上的截面为圆环状。
6、进一步地,双联单体管中段的外侧壁上固定连接有凸台,凸台呈环体结构且其作为环体的中心线与双联单体管以及规则单体管的中心线相重合,且凸台的外径与规则单体管的外径一致,规则单体管与双联单体管套接的一端与凸台朝向该规则单体管的表面相抵。
7、进一步地,还包括热电偶,热电偶固定设置于支撑板上;
8、管状接头的侧壁开设有光孔,热电偶的冷端从光孔处穿出管状接头的侧壁,且冷端封闭光孔。
9、进一步地,管状接头的内侧壁上连接有凸出部,凸出部的上部与异形单体管或规则单体管的下端端面相抵,光孔位于异形单体管或规则单体管的下端端面与支撑板上表面之间。
10、进一步地,凸出部为环柱状,凸出部的环柱中心线与管状接头中心线重合,光孔贯穿凸出部。
11、进一步地,管状接头的侧壁开设有多个螺钉孔,螺孔中螺纹连接有螺钉,螺钉朝向管状接头内的一端能够与异形单体管或规则单体管的侧壁相抵,以紧固的方式实现管状接头与异形单体管或规则单体管之间的可拆卸连接。
12、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:保护管由多个异形单体管依次套接或由多个规则单体管与多个双联单体管进行套接而成,该类保护管中相邻的彼此套接的两节管之间存在竖直方向上的交叠或嵌套,相邻的管之间嵌套部分的配合缝隙较长,接缝纵截面是曲折的,缝隙的内外端存在一定的高度差,从而使得保护管能较好地稳固为一体,能够避免粉体填充物漏出且不易破裂,从而克服现有技术保护管发生倾斜时会出现的技术问题,以使坩埚装出炉更安全,使坩埚下降法生长晶体更顺畅地进行,有助于提高晶体生长的成功率。
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1.一种坩埚托装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述异形单体管(13)在管径平面上的截面为矩形环状或圆环状;所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为矩形环状,或所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为圆环状。
3.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述双联单体管(12)中段的外侧壁上固定连接有凸台,所述凸台呈环体结构且其作为环体的中心线与双联单体管(12)以及规则单体管(11)的中心线相重合,且所述凸台的外径与规则单体管(11)的外径一致,规则单体管(11)与双联单体管(12)套接的一端与所述凸台朝向该规则单体管的表面相抵。
4.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,还包括热电偶,所述热电偶固定设置于所述支撑板(22)上;
5.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述管状接头(21)的内侧壁上连接有凸出部(27),所述凸出部(27)的上部与异形单体管(13)或规则单体管(11)的下端端面相抵,所述光孔(26)位于异形单
6.如权利要求5所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述凸出部(27)为环柱状,凸出部(27)的环柱中心线与管状接头(21)中心线重合,所述光孔(26)贯穿凸出部(27)。
7.如权利要求1-6中任一项所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述管状接头(21)的侧壁开设有多个螺钉孔(25),螺孔(25)中螺纹连接有螺钉(24),螺钉(24)朝向管状接头(21)内的一端能够与异形单体管(13)或规则单体管(11)的侧壁相抵,以紧固的方式实现管状接头(21)与异形单体管(13)或规则单体管(11)之间的可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种坩埚托装置,其特征在于,包括:
2.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述异形单体管(13)在管径平面上的截面为矩形环状或圆环状;所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为矩形环状,或所述规则单体管(11)与双联单体管(12)在管径平面上的截面为圆环状。
3.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,所述双联单体管(12)中段的外侧壁上固定连接有凸台,所述凸台呈环体结构且其作为环体的中心线与双联单体管(12)以及规则单体管(11)的中心线相重合,且所述凸台的外径与规则单体管(11)的外径一致,规则单体管(11)与双联单体管(12)套接的一端与所述凸台朝向该规则单体管的表面相抵。
4.如权利要求1所述的一种坩埚托装置,其特征在于,还包括热电偶,所述热电偶固定设置于所述支撑板(22)上;
5.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈洪祥,王栋,戴品强,张明荣,孔舒燕,沈仁奇,赵衡煜,
申请(专利权)人:福建理工大学,
类型:发明
国别省市:
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