【技术实现步骤摘要】
本技术涉及mbe源炉安装领域，具体涉及一种炉体安装装置。
技术介绍
1、分子束外延(简称“mbe”)是一种化合物半导体多层薄膜的物理淀积技术。目前，在分子束外延设备在安装、装源和维护的过程中，通常需要先将源炉拆下进行所需的维护等操作后，再将源炉重新安装到主机设备上，安装源炉时，需要先对接源炉与主机设备上相应的安装接口，再用螺丝将源炉固定在主机设备上。传统的源炉安装方式是由安装人员人工支撑源炉，同时将源炉与主机设备对准、固定，但源炉的体积大，重量沉，人工支撑源炉非常费力。
2、为此在相关技术中，提供了一种mbe源炉安装辅助工具，包括移动底座、液压升降平台、角度调整机构和托架，液压升降平台安装于移动底座上，角度调整机构安装于液压升降平台上，并与托架连接。使用该mbe源炉安装辅助工具安装源炉时，安装人员通过托架承载源炉，再通过升降平台和角度调整机构调节源炉的高度和角度，使源炉与主机设备的安装接口对准，该安装过程中，安装人员无需人工支撑源炉，大大节省了人力。但该mbe源炉安装辅助工具在实际使用过程中存在以下技术问题：
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【技术保护点】
1.一种炉体安装装置，用于安装源炉和主机设备，其特征在于，所述炉体安装装置包括：
2.根据权利要求1所述的一种炉体安装装置，其特征在于，还包括托架，所述托架设有万向轮；所述载具一端转动连接于所述托架上，另一端与所述角度调节机构的输出端连接，所述角度调节机构被配置为驱动所述载具绕所述托架转动，所述滑动路径沿所述载具的转动轨迹的一径向方向延伸。
3.根据权利要求2所述的一种炉体安装装置，其特征在于，所述角度调节机构包括伸缩杆，所述伸缩杆设于所述托架和所述载具之间，所述伸缩杆用于带动所述载具转动。
4.根据权利要求3所述的一种炉体安装装置...
【技术特征摘要】
1.一种炉体安装装置，用于安装源炉和主机设备，其特征在于，所述炉体安装装置包括：
2.根据权利要求1所述的一种炉体安装装置，其特征在于，还包括托架，所述托架设有万向轮；所述载具一端转动连接于所述托架上，另一端与所述角度调节机构的输出端连接，所述角度调节机构被配置为驱动所述载具绕所述托架转动，所述滑动路径沿所述载具的转动轨迹的一径向方向延伸。
3.根据权利要求2所述的一种炉体安装装置，其特征在于，所述角度调节机构包括伸缩杆，所述伸缩杆设于所述托架和所述载具之间，所述伸缩杆用于带动所述载具转动。
4.根据权利要求3所述的一种炉体安装装置，其特征在于，所述载具和所述伸缩杆活动连接，所述载具和所述伸缩杆的连接处设有限位结构，用于限制所述载具和所述伸缩杆相对活动。
【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，张权，段海龙，王望南，蔡晓玲，
申请(专利权)人：粒芯科技厦门股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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