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本技术涉及MBE源炉安装领域，公开了一种炉体安装装置，包括载具、滑座、角度调节机构和推移机构；载具设有滑动路径；滑座滑动设于载具的滑动路径上，并配置为放置外延炉，以使外延炉的安装方向与滑动路径平行；角度调节机构与载具连接，用于驱动载具转动；...
该专利属于粒芯科技（厦门）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粒芯科技（厦门）股份有限公司授权不得商用。

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