【技术实现步骤摘要】
本技术涉及pecvd生产设备，尤其是指一种旋转电极系统。
技术介绍
1、目前很多电子产品等需要做到较高等级的防护(防水、防潮、防汗液、盐雾等)，要采用pecvd工艺进行镀膜处理。当镀膜处理时，反应腔体过小会导致镀膜效率低下，成本较高；反应腔体过大会使得腔体内部等离子体分布不均，导致镀膜均匀性不好，工艺可控性差的问题。且现有的采用旋转电极进行镀膜的pecvd设备的结构松散。因此，缺陷十分明显，亟需提供一种解决方案。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种旋转电极系统。
2、为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
3、一种旋转电极系统，其包括旋转导电结构、旋转驱动机构、设置于旋转驱动机构的输出端的电极固定座、设置于电极固定座上的旋转轴、设置于旋转轴上的第一流道、绕设于旋转轴外并与旋转轴连接的回转电极及设置于回转电极上的第二流道，所述第一流道与第二流道连通；所述旋转驱动机构用于带动电极固定座、旋转轴和回转电极转动，所述回转电极经由旋转导电结构...
【技术保护点】
1.一种旋转电极系统，其特征在于：包括旋转导电结构(2)、旋转驱动机构(1)、设置于旋转驱动机构(1)的输出端的电极固定座(3)、设置于电极固定座(3)上的旋转轴(4)、设置于旋转轴(4)上的第一流道(6)、绕设于旋转轴(4)外并与旋转轴(4)连接的回转电极(5)及设置于回转电极(5)上的第二流道(7)，所述第一流道(6)与第二流道(7)连通；所述旋转驱动机构(1)用于带动电极固定座(3)、旋转轴(4)和回转电极(5)转动，所述回转电极(5)经由旋转导电结构(2)与外部射频电源保持电连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转电极系统，其特征在于：所述旋转导电...
【技术特征摘要】
1.一种旋转电极系统，其特征在于：包括旋转导电结构(2)、旋转驱动机构(1)、设置于旋转驱动机构(1)的输出端的电极固定座(3)、设置于电极固定座(3)上的旋转轴(4)、设置于旋转轴(4)上的第一流道(6)、绕设于旋转轴(4)外并与旋转轴(4)连接的回转电极(5)及设置于回转电极(5)上的第二流道(7)，所述第一流道(6)与第二流道(7)连通；所述旋转驱动机构(1)用于带动电极固定座(3)、旋转轴(4)和回转电极(5)转动，所述回转电极(5)经由旋转导电结构(2)与外部射频电源保持电连接。
2.根据权利要求1所述的一种旋转电极系统，其特征在于：所述旋转导电结构(2)包括安装座(21)、压力调节组件(22)、设置于安装座(21)上的导电环(23)及活动地设置于安装座(21)上的导电压块(24)，所述导电压块(24)经由导电环(23)与外部射频电源电连接；所述导电压块(24)与回转电极(5)电接触；所述压力调节组件(22)用于带动导电压块(24)相对于安装座(21)运动，以对导电压块(24)与回转电极(5)之间的接触压力进行调节，使得回转电极(5)转动时与导电压块(24)始终保持可靠接触和电连接。
3.根据权利要求2所述的一种旋转电极系统，其特征在于：所述旋转导电结构(2)还包括弹性导电片(25)，所述导电环(23)经由弹性导电片(25)与导电压块(24)电连接。
4.根据权利要求3所述的一种旋转电极系统，其特征在于：所述压力调节组件(22)包括设置于导电压块(24)远离回转电极(5)的一端的滑动槽(26)及活动地设置于滑动槽(26)内的弹性件(27)，所述弹性件(27)的另一端突伸至滑动槽(26)外...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓旭辉，雷永秋，钟飞伟，汪宇辉，陈家政，
申请(专利权)人：深圳蓝海源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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