【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀，尤其涉及一种丝线装载机构和坩埚送丝装置。
技术介绍
1、在热蒸镀、电子束蒸镀、感应蒸发等蒸镀工艺中，需要将物料放入坩埚进行加热蒸镀，有些蒸镀工艺对连续性要求较高，因此需要向坩埚内连续供料以保证生产的连续性，在蒸镀过程中需要对坩埚残料进行实时监控，以控制给料的速度。因此对于坩埚及坩埚中残料的重量控制需要采用一种半连续供料装置，保证坩埚内余料始终充足。
2、目前真空高温环境中使用的供料装置多为送丝装置，送丝装置上搭载着由丝线螺旋缠绕形成的丝卷，送丝装置驱动丝卷转动从而将丝线送至坩埚上方，在电子束光斑的照射下丝线逐渐融化从而掉入坩埚内。但是，该送丝装置在丝卷转动过程中，被传送的丝线因为丝卷的转动使得其在丝卷的轴向上的位置不断移动，容易出现跳线，导致丝线送料不稳定。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种丝线装载机构和坩埚供料装置，以减少丝线送出时出现跳线，提高丝线送料量的稳定性。
2、第一方面，本技术提供一种丝线装载机构，包括：
3、第一支
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【技术保护点】
1.一种丝线装载机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的丝线装载机构，其特征在于，所述转动轴和所述衬套组成滚珠花键机构，所述转动轴为所述滚珠花键机构的花键轴，所述衬套为所述滚珠花键机构的滚珠螺母。
3.根据权利要求1所述的丝线装载机构，其特征在于，所述第一周向限位结构为相互配合的键和键槽中的一种，所述第二周向限位结构为所述键和所述键槽中的另一种，所述键和所述键槽均沿所述轴向延伸。
4.根据权利要求1所述的丝线装载机构，其特征在于，还包括连接于所述转动轴的端部的旋转阻尼结构，所述旋转阻尼结构对所述转动轴的端部和所述第一支撑架...
【技术特征摘要】
1.一种丝线装载机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的丝线装载机构，其特征在于，所述转动轴和所述衬套组成滚珠花键机构，所述转动轴为所述滚珠花键机构的花键轴，所述衬套为所述滚珠花键机构的滚珠螺母。
3.根据权利要求1所述的丝线装载机构，其特征在于，所述第一周向限位结构为相互配合的键和键槽中的一种，所述第二周向限位结构为所述键和所述键槽中的另一种，所述键和所述键槽均沿所述轴向延伸。
4.根据权利要求1所述的丝线装载机构，其特征在于，还包括连接于所述转动轴的端部的旋转阻尼结构，所述旋转阻尼结构对所述转动轴的端部和所述第一支撑架施加沿所述转动轴的转动方向的阻尼力。
5.根据权利要求4所述的丝线装载机构，其特征在于，所述旋转阻尼结构包括：
6.一种坩埚送丝装置，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的坩埚送丝装置，其特征在于，还包括平移拖动机构，所述平移拖动机构用于驱动所述卷轮相对所述转动轴沿所述轴向移动。
8.根据权利要求7所述的坩埚送丝装置，其特征在于，所述平移拖动机构包括：
9.根据权利要求8所述的坩埚送丝装置，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：董升，韩伟，赵阳，邓浩，蔡永安，翟宇宁，王志强，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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