【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸镀用坩埚，具体为一种蒸镀用自定位式坩埚。
技术介绍
1、蒸镀机在使用时需要使用坩埚来对蒸发材料进行盛放，然后后期通过加热将坩埚内的材料变为气体而向上挥发，从而很好的对上方的物体进行镀膜作业，因此坩埚是蒸镀机中重要的部件之一，目前市场上的坩埚结构如下所示：
2、现有技术中申请号为“cn201920004499.1”所公开的专利名称为“一种坩埚定位组件”，坩埚定位组件包括至少三个定位件，至少三个定位件沿加热室的中心线旋转对称分布。每个定位件的两端分别抵接于坩埚和加热室的内壁之间，至少三个定位件共同作用于坩埚，以使坩埚处于加热室的中心位置而不会移动。考虑到坩埚的托盘的顶面非绝对水平、托盘与坩埚的底面的接触面积有限、内部液体受热沸腾、周围其他设备振动等因素，在加热过程，坩埚的位置容易发生偏移。坩埚定位组件能够将坩埚固定于加热室的中心位置，从而能够防止坩埚在加热过程中位置变动，进一步避免了由于坩埚的位置偏移而造成所泡生的晶体产品的质量不合格；
3、现有技术中申请号为“cn202310746890.蒸镀用自定...
【技术保护点】
1.一种蒸镀用自定位式坩埚，包括旋转坩埚本体（1），以及安装在旋转坩埚本体（1）上方的下冷却板（2）；
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚，其特征在于：所述下冷却板（2）和上冷却板（3）内均开设有冷却液流动道（301），下冷却板（2）和上冷却板（3）的外侧安装有冷却液循环管道。
3.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚，其特征在于：所述第一定位机构（9）的外端上方安装有移动柱（91），第一定位机构（9）与侧支撑板（8）的内部贯穿滑动连接，第一定位机构（9）的中部内部开设有通槽（93）；
4.根据权利要求3所述的一种...
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀用自定位式坩埚，包括旋转坩埚本体（1），以及安装在旋转坩埚本体（1）上方的下冷却板（2）；
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚，其特征在于：所述下冷却板（2）和上冷却板（3）内均开设有冷却液流动道（301），下冷却板（2）和上冷却板（3）的外侧安装有冷却液循环管道。
3.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚，其特征在于：所述第一定位机构（9）的外端上方安装有移动柱（91），第一定位机构（9）与侧支撑板（8）的内部贯穿滑动连接，第一定位机构（9）的中部内部开设有通槽（93）；
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀用自定位式坩埚，其特征在于：所述控制组件包括对称安装在连接架（10）前侧的第一控制板（11），第一控制板（11）的最低点高于第一定位机构（9）的最高点，第一控制板（11）的外侧面呈倾斜状设置，第一控制板（11）的外侧面与移动柱（91）贴合设置，移动柱（91）通过第一控制板（11）与侧支撑板（8）构成滑动结构。
5.根据权利要求3所述的一种蒸镀用自定位式坩埚，其特征在于：所述移动柱（91）和第一定位机构（9）二者构成“l”形状结构设置，第一定位机构（9）设置有两组。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝胜，张银丹，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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