System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种蒸镀用自定位式坩埚制造技术_技高网

一种蒸镀用自定位式坩埚制造技术

技术编号:42628081 阅读:40 留言:0更新日期:2024-09-06 01:29
本发明专利技术涉及蒸镀用坩埚技术领域,具体为一种蒸镀用自定位式坩埚,包括旋转坩埚本体,以及安装在旋转坩埚本体上方的下冷却板;所述旋转坩埚本体的下方安装有副旋转控制杆,所述上冷却板的左右两侧均安装有侧支撑板,侧支撑板的内部贯穿安装有定位组件;所述旋转坩埚本体的上方边缘处等间距安装有一圈定位凹槽。该蒸镀用自定位式坩埚内的旋转坩埚本体内开设有六个蒸发槽,每次蒸发完一个蒸发槽内的材料后,步进旋转,使得下一个蒸发槽旋转到蒸发口的正下方,这种方式可一次性镀六层材料,两组第一定位机构带动滚轴移动到对应的旋转坩埚本体上的两组定位凹槽内,便于对旋转后的旋转坩埚本体进行自定位,使蒸发槽的正好对准蒸发口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀用坩埚,具体为一种蒸镀用自定位式坩埚


技术介绍

1、蒸镀机在使用时需要使用坩埚来对蒸发材料进行盛放,然后后期通过加热将坩埚内的材料变为气体而向上挥发,从而很好的对上方的物体进行镀膜作业,因此坩埚是蒸镀机中重要的部件之一,目前市场上的坩埚结构如下所示:

2、现有技术中申请号为“cn201920004499.1”所公开的专利名称为“一种坩埚定位组件”,坩埚定位组件包括至少三个定位件,至少三个定位件沿加热室的中心线旋转对称分布。每个定位件的两端分别抵接于坩埚和加热室的内壁之间,至少三个定位件共同作用于坩埚,以使坩埚处于加热室的中心位置而不会移动。考虑到坩埚的托盘的顶面非绝对水平、托盘与坩埚的底面的接触面积有限、内部液体受热沸腾、周围其他设备振动等因素,在加热过程,坩埚的位置容易发生偏移。坩埚定位组件能够将坩埚固定于加热室的中心位置,从而能够防止坩埚在加热过程中位置变动,进一步避免了由于坩埚的位置偏移而造成所泡生的晶体产品的质量不合格;

3、现有技术中申请号为“cn202310746890.蒸镀用自定位式坩埚”所公开的专利名称为“一种防止串料的坩埚装置”,所述活动盖板的两侧边对称设有腰型槽,所述两个调节装置分别与对应的腰型槽连接,所述调节装置可在腰型槽内滑动,调节由于穴位孔的位置加工时产生的误差,使得调整后入料口与穴位孔完全贴合,所述调节装置远离滚轮一端设有连轴,连轴的一端穿过腰型槽并与腰型槽可拆卸连接,另一端与滚轮相连,所述滑槽位于相邻两个穴位孔的中垂线上,且滑槽个数与穴位孔个数对应,使得滚轮位于滑槽内时穴位孔位于入料口正下方,所述滑槽为v字型,所述滑槽的深度等于滚轮位于滑槽内时坩埚盖板下表面到坩埚本体上表面的距离。所述滑槽的两侧分别设有滑出面,滑出面为向上延伸的曲面,使得滚轮滚出滑槽时减少阻力,顺利滑出;

4、上述中的两个坩埚在使用时虽然可以通过定位件来对坩埚进行定位,保证旋转后的坩埚位置的稳定性,但是上述中的定位件是最少设置为两组,且每组都需要依次进行操作定位,不能同时控制多组定位件进行自定位,继而使得上述坩埚在使用时定位操作较为繁琐,因此会影响后期的蒸镀作业的效率;

5、所以我们提出了一种蒸镀用自定位式坩埚,以便于解决上述中提出的问题。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种蒸镀用自定位式坩埚,以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的坩埚在使用时虽然可以通过定位件来对坩埚进行定位,保证旋转后的坩埚位置的稳定性,但是上述中的定位件是最少设置为两组,且每组都需要依次进行操作定位,不能同时控制多组定位件进行自定位,继而使得上述坩埚在使用时定位操作较为繁琐,因此会影响后期的蒸镀作业的效率的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种蒸镀用自定位式坩埚,包括旋转坩埚本体,以及安装在旋转坩埚本体上方的下冷却板;

3、所述下冷却板的上方安装有上冷却板;

4、所述旋转坩埚本体的内部等间距开设有一圈蒸发槽;

5、所述下冷却板和上冷却板内均开设有蒸发口,蒸发口的下方正对着一个蒸发槽;

6、所述旋转坩埚本体的下方安装有副旋转控制杆,副旋转控制杆的下方外侧通过锥形齿轮组与主旋转控制杆相连接;

7、所述副旋转控制杆的下端和主旋转控制杆的外侧均安装在底板上;

8、所述上冷却板的左右两侧均安装有侧支撑板,侧支撑板的内部贯穿安装有定位组件;

9、所述旋转坩埚本体的上方边缘处等间距安装有一圈定位凹槽;

10、所述定位组件内的第一定位机构靠近旋转坩埚本体的一端外侧安装有滚轴,滚轴插入到定位凹槽内对旋转坩埚本体进行自定位;

11、所述旋转坩埚本体的后侧设置有连接架,连接架的前侧安装有控制组件,控制组件的前侧设置有定位组件,控制组件与侧支撑板的外侧面滑动连接。

12、优选的,所述下冷却板和上冷却板内均开设有冷却液流动道,下冷却板和上冷却板的外侧安装有冷却液循环管道。

13、优选的,所述第一定位机构的外端上方安装有移动柱,第一定位机构与侧支撑板的内部贯穿滑动连接,第一定位机构的中部内部开设有通槽;

14、所述侧支撑板的内部安装有限位杆,限位杆插入在通槽内,第一定位机构的外侧套设有连接弹簧,连接弹簧的一端与侧支撑板的内部相连接。

15、优选的,所述控制组件包括对称安装在连接架前侧的第一控制板,第一控制板的最低点高于第一定位机构的最高点,第一控制板的外侧面呈倾斜状设置,第一控制板的外侧面与移动柱贴合设置,移动柱通过第一控制板与侧支撑板构成滑动结构。

16、优选的,所述移动柱和第一定位机构二者构成“l”形状结构设置,第一定位机构设置有两组。

17、优选的,所述定位组件包括第二定位机构,第二定位机构的外端贯穿侧支撑板的内部,第二定位机构靠近旋转坩埚本体的一端外侧安装有滚轴;

18、第二定位机构的外侧贯穿安装有调控杆,调控杆安装在侧支撑板内,调控杆的一端外侧嵌套连接有涡旋弹簧。

19、优选的,所述控制组件包括安装在连接架前侧的第二控制板,第二控制板的底端呈倾斜状结构设置。

20、优选的,所述第二定位机构通过第二控制板与侧支撑板构成旋转结构,第二定位机构的长度大于侧支撑板与旋转坩埚本体之间的最短间距。

21、优选的,所述定位凹槽呈弧形状结构设置,定位凹槽设置在两个蒸发槽之间;

22、蒸发槽和定位凹槽均设置有六个。

23、优选的,所述定位凹槽的内部安装有呈弧形状结构的橡胶垫组件,定位凹槽与橡胶垫组件呈一一对应设置,且橡胶垫组件的最高点低于定位凹槽的最高点。

24、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:该蒸镀用自定位式坩埚,旋转坩埚本体内开设有六个蒸发槽,每次蒸发完一个蒸发槽内的材料后,步进旋转,使得下一个蒸发槽旋转到蒸发口的正下方,这种方式可一次性镀若干层材料,两组第一定位机构带动滚轴移动到对应的旋转坩埚本体上的两组定位凹槽内,便于对旋转后的旋转坩埚本体进行自定位,使蒸发槽的正好对准蒸发口,其具体内容如下:

25、旋转坩埚本体内开设有六个蒸发槽,通过主旋转控制杆和副旋转控制杆的传动配合带动旋转坩埚本体进行旋转,使得每次蒸发完一个蒸发槽内的材料后,通过对旋转坩埚本体进行步进旋转,使得下一个蒸发槽旋转到蒸发口的正下方,这种方式可一次性镀六层材料,继而提高了坩埚的使用范围,满足不同的使用需求;

26、通过连接弹簧的蓄力自动带动第一定位机构在侧支撑板内向内滑动,从而使得两组第一定位机构带动滚轴移动到对应的旋转坩埚本体上的两组定位凹槽内,便于对旋转后的旋转坩埚本体进行自定位,继而使得旋转坩埚本体内的其中一个蒸发槽与蒸发口正对应,以便于后期很好的进行蒸镀作业和对蒸发槽进行加热作业;

27、通过呈“u”形状结构的连接架可同时带动定位组件内的两组第一控制板进行移动,因此使得两组第一控制板可同时自动控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸镀用自定位式坩埚,包括旋转坩埚本体(1),以及安装在旋转坩埚本体(1)上方的下冷却板(2);

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述下冷却板(2)和上冷却板(3)内均开设有冷却液流动道(301),下冷却板(2)和上冷却板(3)的外侧安装有冷却液循环管道。

3.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述第一定位机构(9)的外端上方安装有移动柱(91),第一定位机构(9)与侧支撑板(8)的内部贯穿滑动连接,第一定位机构(9)的中部内部开设有通槽(93);

4.根据权利要求3所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述控制组件包括对称安装在连接架(10)前侧的第一控制板(11),第一控制板(11)的最低点高于第一定位机构(9)的最高点,第一控制板(11)的外侧面呈倾斜状设置,第一控制板(11)的外侧面与移动柱(91)贴合设置,移动柱(91)通过第一控制板(11)与侧支撑板(8)构成滑动结构。

5.根据权利要求3所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述移动柱(91)和第一定位机构(9)二者构成“L”形状结构设置,第一定位机构(9)设置有两组。

6.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述定位组件包括第二定位机构(14),第二定位机构(14)的外端贯穿侧支撑板(8)的内部,第二定位机构(14)靠近旋转坩埚本体(1)的一端外侧安装有滚轴(13);

7.根据权利要求6所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述控制组件包括安装在连接架(10)前侧的第二控制板(15),第二控制板(15)的底端呈倾斜状结构设置。

8.根据权利要求7所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述第二定位机构(14)通过第二控制板(15)与侧支撑板(8)构成旋转结构,第二定位机构(14)的长度大于侧支撑板(8)与旋转坩埚本体(1)之间的最短间距。

9.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述定位凹槽(12)呈弧形状结构设置,定位凹槽(12)设置在两个蒸发槽(101)之间;

10.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述定位凹槽(12)的内部安装有呈弧形状结构的橡胶垫组件(121),定位凹槽(12)与橡胶垫组件(121)呈一一对应设置,且橡胶垫组件(121)的最高点低于定位凹槽(12)的最高点。

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【技术特征摘要】

1.一种蒸镀用自定位式坩埚,包括旋转坩埚本体(1),以及安装在旋转坩埚本体(1)上方的下冷却板(2);

2.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述下冷却板(2)和上冷却板(3)内均开设有冷却液流动道(301),下冷却板(2)和上冷却板(3)的外侧安装有冷却液循环管道。

3.根据权利要求1所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述第一定位机构(9)的外端上方安装有移动柱(91),第一定位机构(9)与侧支撑板(8)的内部贯穿滑动连接,第一定位机构(9)的中部内部开设有通槽(93);

4.根据权利要求3所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述控制组件包括对称安装在连接架(10)前侧的第一控制板(11),第一控制板(11)的最低点高于第一定位机构(9)的最高点,第一控制板(11)的外侧面呈倾斜状设置,第一控制板(11)的外侧面与移动柱(91)贴合设置,移动柱(91)通过第一控制板(11)与侧支撑板(8)构成滑动结构。

5.根据权利要求3所述的一种蒸镀用自定位式坩埚,其特征在于:所述移动柱(91)和第一定位机构(9)二者构成“l”形状结构设置,第一定位机构(9)设置有两组。<...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜宝胜张银丹
申请(专利权)人:苏州佑伦真空设备科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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