【技术实现步骤摘要】
本技术涉及低温等离子反应器，具体涉及一种水冷射频等离子 体反应器。
技术介绍
等离子体具有高温、高焓、高活性和温度梯度大的特性，用等离子 体做热源在纳米粉末材料的制备与微米亚微米粉末材料的球化处理等方 面，具有较大的技术优势。射频等离子体技术和设备由于其不带入任何 杂质、运行持续稳定、材料制备产能高和设备造价适中，使之较微波和 直流弧等离子体热源更广泛地应用于粉末材料处理领域，比如熔制石英 棒(法国)，粉末材料球化(加拿大)，纳米材料制备(日本)等研制的 系统在世界范围均有应用。射频等离子体系统用于粉末材料制备和处理，对等离子体参数的调 节和控制有较严格的要求。目前国内一般采用惰性气体冷却的方式，气体用量较大，成本较高，另外由于气体流量大，等离子体参数难以控制; 对于点火方式， 一般点火方式容易引入杂质，纯净度不高，加拿大采用 真空触发点火，法国采用一套液压设备控制和驱动金属丝棒进入点火， 撤离反应室等方法，但均存在造价高、结构组件复杂，难以应用到反应 器设计之中的缺点。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种利于调节和控制等离子体参数、成本低、点火不引入杂质的带...
【技术保护点】
一种带点火隧道的水冷射频等离子反应器，它包括一个固定件（６），与固定件（６）下部密封连接的石英管套件（１０），贯穿固定件（６）并与其密封连接的粉体原料注入枪（１），在石英管套件（１０）外套有高频感应线圈（８），其特征在于：所述的石英管套件（１０）是由内石英管（４）、中石英管（９）和外石英管（１４）同轴布置而成，外石英管（１４）与内石英管（４）下端相连，中石英管（９）的下端与外石英管（１４）和内石英管（４）的底部之间留有流通间隙，使内石英管（４）和中石英管（９）之间，中石英管（９）与外石英管（１４）之间形成石英管套件（１０）的冷却通道，在固定件（６）上设有冷却水进、出口（７，...
【技术特征摘要】
1.一种带点火隧道的水冷射频等离子反应器，它包括一个固定件(6)，与固定件(6)下部密封连接的石英管套件(10)，贯穿固定件(6)并与其密封连接的粉体原料注入枪(1)，在石英管套件(10)外套有高频感应线圈(8)，其特征在于所述的石英管套件(10)是由内石英管(4)、中石英管(9)和外石英管(14)同轴布置而成，外石英管(14)与内石英管(4)下端相连，中石英管(9)的下端与外石英管(14)和内石英管(4)的底部之间留有流通间隙，使内石英管(4)和中石英管(9)之间，中石英管(9)与外石英管(14)之间形成石英管套件(10)的冷却通道，在固定件(6)上设有冷却水进、出口(7，5)，它们与石英管套件(10)的冷却通道相通；所说的粉体原料注入枪(1)是由钢制的内管(17)、中管(18)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶高英，刘川东，古忠涛，
申请(专利权)人：核工业西南物理研究院，
类型：实用新型
国别省市：90[中国|成都]
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