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带点火隧道的水冷射频等离子反应器制造技术
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下载带点火隧道的水冷射频等离子反应器的技术资料
文档序号:4262605
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本实用新型属于一种低温等离子反应器,具体涉及一种带点火隧道的水冷射频等离子反应器,它包括固定件,与固定件下部密封连接的石英管套件,贯穿固定件并与其密封连接的粉体原料注入枪,在石英管套件外套有高频感应线圈,其特征在于石英管套件和粉体原料注入枪...
该专利属于核工业西南物理研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业西南物理研究院授权不得商用。
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