一种布气装置制造方法及图纸

本技术实施例提供了一种布气装置，包括：支撑板和布气板，其中，所述支撑板具有容纳槽以及位于所述容纳槽底部的第一平直部，所述布气板具有弧形段；所述布气板设置于所述容纳槽内，所述布气板与所述第一平直部连接，所述布气板的弧形段形成槽口朝向所述第一平直部的弧形槽；所述弧形段上设置有布气孔，所述第一平直部与所述弧形段相对的位置设置有均匀分布的匀气孔，所述布气孔和所述匀气孔均与所述弧形槽连通。ITO膜会先落在所述弧形段上，然后滑至所述布气板两侧，可以避免遮挡所述布气孔，进而保证所述匀气孔出气均匀，提高PVD溅射成膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)真空镀膜，特别是涉及一种布气装置。

技术介绍

1、pvd溅射成膜是制备硅基异质结太阳能电池电极的一个主要工艺环节，电池在进行溅射镀膜时，除了常规的工艺压强、工艺温度及制备功率等因素外，作用于靶材的工艺气体均匀性也是直接影响到pvd溅射成膜质量的重要因素，而布气孔的分布是影响工艺气体均匀性的最主要原因。

2、pvd镀膜过程中，工艺腔内壁被镀氧化铟锡(indium tin oxide，ito)膜，在时间的积累下，工艺腔内壁附着的镀膜越来越多，受重力气流等因素使ito膜脱落，形成掉渣现象，然而，脱落的ito膜容易挡住部分布气孔，严重影响工艺气体分布均匀性，并严重影响pvd溅射成膜质量。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，提出了本技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种布气装置。

2、为了解决上述问题，本技术实施例公开了一种布气装置，包括：支撑板和布气板，其中，>

3、所述支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种布气装置，其特征在于，包括：支撑板和布气板，其中，

2.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气板沿第一方向延伸，所述布气孔为沿第二方向延伸的长条形孔；

3.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述弧形段远离所述第一平直部的一侧为光滑的弧形面。

4.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气板的宽度小于或等于所述第一平直部的宽度。

5.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气板包括平直段；

6.根据权利要求5所述的布气装置，其特征在于，所述平直段和所述第一平直部之间设置有密封垫。

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【技术特征摘要】

1.一种布气装置，其特征在于，包括：支撑板和布气板，其中，

2.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气板沿第一方向延伸，所述布气孔为沿第二方向延伸的长条形孔；

3.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述弧形段远离所述第一平直部的一侧为光滑的弧形面。

4.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气板的宽度小于或等于所述第一平直部的宽度。

5.根据权利要求1所述的布气装置，其特征在于，所述布气板包括平直段；

6.根据权利要求5所述的布气装置，其特征在于，所述平直段和所述第一平直部之间设置有密封垫。

7.根据权利要求5所述的布气装置，其特征在于，所述弧形段的相对两侧均设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦勇，张开旺，曲喆，严明，刘成军，卢俊雄，徐希翔，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：