一种精确摩尔配比的高熵薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种精确摩尔配比的高熵薄膜及其制备方法；本发明专利技术使用电子束蒸发制备金属多层膜，由金属膜层厚度和校准系数的乘积精确控的制各金属元素的摩尔配比，并在大气环境下进行750℃退火，即可形成元素配比准确高质量尖晶石结构高熵热敏薄膜材料；采用的电子束蒸发设备可放置6个或者更多个坩埚，可将高熵材料所需的金属元素颗粒放入不同的坩埚中，依次蒸发从而形成金属多层膜；各金属元素的摩尔比通过控制各金属膜厚和校准系数的乘积来进行校准；本发明专利技术方法所制备的高熵热敏薄膜材料具有结晶度好、致密度高、耐老化性能好、成本低廉等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于电子材料制备领域，具体涉及一种精确摩尔配比的高熵薄膜及其制备方法。

技术介绍

1、锰基二元（如nimn2o4）、三元（如 mn1.56co0.96ni0.48o4）、四元（如mn1.5zn0.6fe1.9ni2o4）和五元（如 mn（1.9-x）zn0.2ni0.6mgxal0.3o4）尖晶石型中/高熵热敏薄膜材料是以 mn3o4 为原型材料，通过掺入多种+2 或 +3 价的金属阳离子而得到。其中，2元~4元热敏材料称为中熵热敏材料，5元及以上热敏材料称为高熵热敏薄膜材料。其不仅具有可调控的优异热敏性能，较低的介电损耗和漏电流特性，还具有宽温区红外光学特性、光电催化、磁学性能、老化性能等多种独特的物理化学性能。因而，该类型材料广泛应用于磁性材料、温度监测、生物和医学、军事航天、传感器、半导体光电探测、以及催化剂和催化剂载体等诸多领域。

2、高熵热敏材料是由高熵合金( heas )推广得来的。高熵合金是一种多主元合金(mpeas )，各元素的摩尔比相等或接近相同。高熵合金与传统合金的区别不仅在于性能，而且在于设计策略。传统的合金使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种精确摩尔配比的高熵薄膜，其特征在于：所述高熵薄膜的化学组成为Mn（1.9-x）Zn0.2Ni0.6MgxAl0.3O4，其中X=0.1或0.2或0.3或0.4。

2.根据权利要求 1 所述的一种精确摩尔配比的高熵薄膜，其特征在于：高纯金属锰、锌、镍、镁和铝颗粒的纯度均为 99.99%以上。

3.根据权利要求 1 所述的一种精确摩尔配比的高熵薄膜的制备方法，其特征在于：

4.根据权利要求 1 所述的一种精确摩尔配比的高熵薄膜制备方法，其特征在于：步骤3）中电子束蒸发法的具体步骤为：

5.根据权利要求 1 所述的一种精确摩尔配比的高熵薄...

【技术特征摘要】

1.一种精确摩尔配比的高熵薄膜，其特征在于：所述高熵薄膜的化学组成为mn（1.9-x）zn0.2ni0.6mgxal0.3o4，其中x=0.1或0.2或0.3或0.4。

2.根据权利要求 1 所述的一种精确摩尔配比的高熵薄膜，其特征在于：高纯金属锰、锌、镍、镁和铝颗粒的纯度均为 99.99%以上。

3.根据权利要求 1 所述的一种精确摩尔配比的高熵薄膜的制备方法，其特征在于：

4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：任卫，韩雨欣，周倩，张亚明，李仃，顾生越，
申请(专利权)人：西安邮电大学，
类型：发明
国别省市：