光声效应气体传感器及电子设备制造技术

本说明书实施例提供了一种光声效应气体传感器和电子设备。该光声效应气体传感器包括：传感器基板；设置在传感器基板上的外壳，具有与外界连通的第一通孔并且与传感器基板形成第一腔体；在第一腔体中设置在传感器基板上的麦克风模组；以及在第一腔体中设置在传感器基板上的光源，其中，麦克风模组包括麦克风基板、麦克风壳体、MEMS麦克风单体以及可操作地耦接到MEMS麦克风单体的ASIC单元，MEMS麦克风单体和ASIC单元被设置在麦克风基板上，其中，麦克风壳体包括声孔和覆盖声孔的隔光透声膜，该隔光透声膜能防止由光源所发射的光的至少一部分进入麦克风壳体并能让声音透过，其中，麦克风基板和麦克风壳体形成光屏蔽腔体。

【技术实现步骤摘要】

本说明书涉及光声效应气体传感器，更具体地，涉及一种光声效应气体传感器及电子设备。

技术介绍

1、光声效应指的是，当气体受到周期性强度调制的光照射时产生声信号的现象。不同的气体具有各自特定的光吸收谱。可以利用光声效应检测气体的成分。利用光声效应的微型微机电系统(mems)气体传感器具有独特的优点，例如，体积小、响应快、灵敏度/选择性高等。这种光声效应气体传感器受到多方面的关注。这种光声效应气体传感器可以应用于生物医药、汽车、工业控制、个人/家居/办公/公共环境健康/安全、食品安全、物联网等领域。

2、通常在光声效应气体传感器的封装器件腔内，光源/光发射器发射特定波长的光波，待测气体中的特定气体会强烈吸收该特定波长的光波并发热，从而产生空气压力(声压)的变化。光源/光发射器发射所发射的光波包括从可见光到十多微米波长的中红外光。所述光源/光发射器通常是容易实现的近/中红外光源，包括ndir(non-dispersive infra-red非分散红外光)的宽谱光源加上滤波片、或tdlas(tunable diode laser absorptionsp本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光声效应气体传感器，包括：

2.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，麦克风基板是传感器基板的一部分。

3.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，所述隔光透声膜包括厚度为0.1～10微米的柔性金属薄膜或厚度为1～20微米的具有金属镀层的聚合物薄膜。

4.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，所述隔光透声膜包括具有分布式布拉格反射器镀层的柔性薄膜，或者所述隔光透声膜包括对所述光源所发射光的光谱不透射或强吸收的聚合物或复合材料、叠层结构的膜，以及所述隔光透声膜的总厚度是1～20微米。

5.根据权利要求1所述的光声...

【技术特征摘要】

1.一种光声效应气体传感器，包括：

2.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，麦克风基板是传感器基板的一部分。

3.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，所述隔光透声膜包括厚度为0.1～10微米的柔性金属薄膜或厚度为1～20微米的具有金属镀层的聚合物薄膜。

4.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，所述隔光透声膜包括具有分布式布拉格反射器镀层的柔性薄膜，或者所述隔光透声膜包括对所述光源所发射光的光谱不透射或强吸收的聚合物或复合材料、叠层结构的膜，以及所述隔光透声膜的总厚度是1～20微米。

5.根据权利要求1所述的光声效应气体传感器，其中，所述隔光透声膜包括透声且...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹泉波，王喆，
申请(专利权)人：潍坊歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：