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光声效应气体传感器及电子设备制造技术
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文档序号:42619286
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本说明书实施例提供了一种光声效应气体传感器和电子设备。该光声效应气体传感器包括:传感器基板;设置在传感器基板上的外壳,具有与外界连通的第一通孔并且与传感器基板形成第一腔体;在第一腔体中设置在传感器基板上的麦克风模组;以及在第一腔体中设置在传...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。
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