【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体，特别是涉及一种针尖状样品承载组件、电子显微镜及其成像方法。
技术介绍
1、三维重构(3d tomo)分析技术是电子显微术与计算机图像相结合而形成的一种有效且高分辨率的三维重构方法，用以表征材料三维空间结构。其原理基于中心截面定理：任何实空间的三维物体沿电子束方向投影的傅里叶变换是该物体所对应的傅里叶空间中通过中心且垂直于投影方向的一个截面，换言之，只要收集样品在不同方向的投影或同一样品在不同角度的投影，对每张投影图进行傅里叶变换，按照投影方向填充到三维傅里叶空间对应的切面，再进行反傅里叶变换，就可得到实空间的三维结构。然而，在采用电子显微镜对针尖状样品进行获取二维透射电镜图像后，然后根据二维透射电镜图像进行三维图像重构时，会存在一定范围内的数据丢失现象，不利于后期的三维图像重构质量。
技术实现思路
1、基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种针尖状样品承载组件、电子显微镜及其成像方法，它能够降低数据丢失风险，提高三维图像重构质量。
2、其技术方案如下：一种针...
【技术保护点】
1.一种针尖状样品承载组件，其特征在于，所述针尖状样品承载组件包括：
2.根据权利要求1所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述针尖状样品承载组件还包括位于所述第一腔室内部的齿轮传动组件，所述第一齿轮通过所述齿轮传动组件与所述第二齿轮相连。
3.根据权利要求2所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述齿轮传动组件包括转动杆、以及与所述转动杆同轴相连的第三齿轮与第四齿轮；所述第三齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第四齿轮与所述第二齿轮相互啮合；所述转动杆与所述外样品杆可转动相连。
4.根据权利要求3所述的针尖状样品承载组件，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种针尖状样品承载组件，其特征在于，所述针尖状样品承载组件包括：
2.根据权利要求1所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述针尖状样品承载组件还包括位于所述第一腔室内部的齿轮传动组件，所述第一齿轮通过所述齿轮传动组件与所述第二齿轮相连。
3.根据权利要求2所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述齿轮传动组件包括转动杆、以及与所述转动杆同轴相连的第三齿轮与第四齿轮；所述第三齿轮与所述第一齿轮相互啮合，所述第四齿轮与所述第二齿轮相互啮合；所述转动杆与所述外样品杆可转动相连。
4.根据权利要求3所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述第一腔室的内壁上设有支座，所述转动杆与所述支座转动相连。
5.根据权利要求2所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述内样品杆的第二端与所述主样品杆的端部可转动相连且同轴设置。
6.根据权利要求1所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，1/2≦d1：d2≦3/4；和/或，所述外样品杆的顶端设有端盖，所述端盖设有第二轴孔，所述内样品杆可转动地穿设于所述第二轴孔中，并与所述端盖转动相连。
7.根据权利要求6所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述第二轴孔的孔壁设有多个滚珠，所述滚珠与所述内样品杆的外壁相互抵接。
8.根据权利要求1所述的针尖状样品承载组件，其特征在于，所述针尖状样品承载组件还包括机架以及第二驱动机构；所述承载台为至少两个，至少两个所述承载台间隔地连接于所述机架上，所述第二驱动机构与所述内样品杆相连，所述第二驱动机构还与所述机架相连，所述第二驱动机...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘传涛，崔慧成，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。