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本公开涉及一种针尖状样品承载组件、电子显微镜及其成像方法，针尖状样品承载组件包括：承载台、内样品杆、外样品杆、主样品杆及第一驱动机构。第一驱动机构驱动主样品杆绕其中心轴线自转，主样品杆同步带动第二齿轮转动，第二齿轮同步带动第一齿轮转动，第一...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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