【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造，特别是涉及一种用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具及方法。
技术介绍
1、大多数cvd、pvd和干刻设备中都有用于承载晶圆的基座，该基座又常被称为加热器（heater），因为其内部设置有加热管道，可以对晶圆进行加热。在cvd化学气相镀膜过程中，加热器安装的平面度和旋转中的周向跳动度对晶圆镀膜的均匀性和一致性有重要影响，所以在做镀膜工艺前都要对加热器调平和调周向跳动，以确保加热器处于水平状态，且使加热器中心和腔体中心一致。除cvd工艺外，pvd和干刻工艺都有同样的需求。现有技术中，加热器的调平和调心或是靠工程师经验，或是借助水平仪等治具直接与加热器接触进行测量。依赖工程师经验操作容易存在较大误差，而接触式测量容易引入颗粒污染。此外，很多cvd、pvd和de工艺中使用了有毒有害的原料，基座表面可能有残留，因此原有的接触式测量危害作业人员的健康。
2、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本专利技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本专利...
【技术保护点】
1.一种用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具，其特征在于，包括：定心梁组件、轴套组件、传感器组件和移动组件；所述定心梁组件包括可横跨于腔体上的定心梁，定心梁上设置有可与腔体中心对位的定心孔；轴套组件包括轴套，轴套固定于定心梁的定心孔内；所述传感器组件包括支架和3个传感器，支架设置有可套设于轴套中的支架轴，支架底部具有锲形斜面，3个传感器在支架上呈中心对称设置，且对称中心与支架轴轴心同轴；所述移动组件包括丝杠、丝杠支座、丝杠螺母及与支架的锲形斜面配合的下锲形块；所述下锲形块与支架底部的锲形斜面贴合，丝杠支座固定于定心梁上，丝杠螺母与下锲形块固定连接，且套设于丝杠上，...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具，其特征在于，包括：定心梁组件、轴套组件、传感器组件和移动组件；所述定心梁组件包括可横跨于腔体上的定心梁，定心梁上设置有可与腔体中心对位的定心孔；轴套组件包括轴套，轴套固定于定心梁的定心孔内；所述传感器组件包括支架和3个传感器，支架设置有可套设于轴套中的支架轴，支架底部具有锲形斜面，3个传感器在支架上呈中心对称设置，且对称中心与支架轴轴心同轴；所述移动组件包括丝杠、丝杠支座、丝杠螺母及与支架的锲形斜面配合的下锲形块；所述下锲形块与支架底部的锲形斜面贴合，丝杠支座固定于定心梁上，丝杠螺母与下锲形块固定连接，且套设于丝杠上，丝杠的另一端插入丝杠支座的轴承孔内，通过旋转丝杠以驱动下锲形块带动支架移动，进而带动传感器上下移动。
2.根据权利要求1所述的非接触式调平调心治具，其特征在于，所述移动组件还包括手轮，手轮套设在丝杠端部。
3.根据权利要求1所述的非接触式调平调心治具，其特征在于，丝杠的轴承卡槽内设置有轴用挡圈；和/或，下锲形块侧的端部安装有挡圈并用螺母紧固。
4.根据权利要求1所述的非接触式调平调心治具，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵美英，宋维聪，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。