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本发明提供一种用于半导体设备基座的非接触式调平调心治具及方法。治具包括：定心梁组件、轴套组件、传感器组件和移动组件；定心梁组件包括定心梁，定心梁上设置有定心孔；轴套组件包括轴套，轴套固定于定心梁的定心孔内；传感器组件包括支架和3个传感器，支...
该专利属于上海陛通半导体能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海陛通半导体能源科技股份有限公司授权不得商用。

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