【技术实现步骤摘要】
本申请涉及厚度计量领域，特别是一种薄膜厚度的测量方法、装置、设备、介质、产品，以及一种膜厚测量模型的训练方法。
技术介绍
1、当利用白光干涉扫描技术测量薄膜厚度时，采集到的干涉曲线是由薄膜底部界面的反射光和参考光形成的第一干涉曲线与薄膜顶部界面的反射光和参考光形成的第二干涉曲线的叠加形成的，称为第三干涉曲线。需要从第三干涉曲线中正确识别出第一干涉曲线的中心波峰以及第二干涉曲线的中心波峰；两个中心波峰的距离除以薄膜折射率才是薄膜的厚度。当第一干涉曲线和第二干涉曲线的中心波峰距离较远时，一般是大于3倍的白光中心波长(约1.8微米)时，两列波相互独立，可以使用一般的干涉扫描技术获得薄膜界面的位置。当两个界面距离接近时，两列波相互干扰，就会造成两个中心波峰识别困难的问题以及中心波峰位置发生偏移的问题。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，以使用白光干涉扫描技术测量极薄薄膜时避免或消除干扰，本申请实施方式提出了一种膜厚测量模型的训练方法，包括：提供多个不同的薄膜样品，获取每个所述薄膜样品的膜厚标准值...
【技术保护点】
1.一种膜厚测量模型的训练方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的训练方法，其特征在于，基于扫描干涉法获取每个所述薄膜样品的膜厚预测量值包括：
3.根据权利要求2所述的训练方法，其特征在于，基于所述薄膜样品的所述膜厚标准值得到所述第一膜厚估计值，并且所述第一膜厚估计值与对应的所述膜厚标准值的差值不超过，其中，为所述扫描干涉法使用的白光的中心波长，为所述薄膜样品的折射率。
4.根据权利要求2所述的训练方法，其特征在于，基于所述薄膜样品的第一膜厚估计值和折射率得到第二中心波峰包括：
5.根据权利要求4所述的训练方法...
【技术特征摘要】
1.一种膜厚测量模型的训练方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的训练方法，其特征在于，基于扫描干涉法获取每个所述薄膜样品的膜厚预测量值包括：
3.根据权利要求2所述的训练方法，其特征在于，基于所述薄膜样品的所述膜厚标准值得到所述第一膜厚估计值，并且所述第一膜厚估计值与对应的所述膜厚标准值的差值不超过，其中，为所述扫描干涉法使用的白光的中心波长，为所述薄膜样品的折射率。
4.根据权利要求2所述的训练方法，其特征在于，基于所述薄膜样品的第一膜厚估计值和折射率得到第二中心波峰包括：
5.根据权利要求4所述的训练方法，其特征在于，所述薄膜样品的校准值包括所述第二中心波峰与左相邻波峰之间的第三距离和/或所述第二中心波峰与右相邻波峰之间的第四距离。
6.根据权利要求1所述的训练方法，其特征在于，所述膜厚测量模型为决策回归树模型。
7.根据权利要求1所述的训练方法，其特征在于，所述多个不同的薄膜样品为一组膜厚标准片，所述膜厚标准片的膜厚标准值在0.1微米~1.5微米范围内，折射率在1.0~2.0范围内，膜顶部和膜底部反射率比值在0.1~1...
【专利技术属性】
技术研发人员：史其仕，党江涛，高海军，王英，
申请(专利权)人：匠岭科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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