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本申请提出了一种薄膜厚度的测量方法、装置、设备、介质和产品，该方法包括：获取待测薄膜的折射率、反射率，并基于扫描干涉法获取待测薄膜的膜厚预测量值和校准值；将待测薄膜的折射率、反射率、膜厚预测量值和校准值输入到膜厚测量模型，以得到待测薄膜的厚...
该专利属于匠岭科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过匠岭科技（上海）有限公司授权不得商用。

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