MEMS谐振器制造技术

本申请公开了一种MEMS谐振器，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极和第二电极；环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有连接梁，至少一连接梁与一位于环形阵列内的锚固件固定连接，每个环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将环形阵列包围并与环形谐振子间隙设置；通过走线层的第一走线串联起各个第一电极，第二走线串联起各个第二电极，第三走线与锚固件连接，并且，第一走线被第二走线包围，减少了引线之间的相互交叉和干扰，降低了MEMS谐振器的走线难度，降低了走线的复杂性，便于MEMS谐振器的集成化设计。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及微机电系统，特别是涉及一种mems谐振器。

技术介绍

1、mems谐振器是一种微型机电系统(mems)设备，用于产生稳定的振荡信号。它通常由微型机械结构和电子电路组成，可以在很宽的频率范围内产生高精度的振荡信号。

2、在一些情形下，mems谐振器内部引线复杂，造成mems谐振器无法进行小型化，也增大了器件大规模集成的难度。

技术实现思路

1、本申请提供一种mems谐振器，旨在改善mems谐振器内部引线，降低mems谐振器的小型化难度。

2、为实现上述技术效果，本申请采用的一个技术方案是提供一种mems谐振器，其包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；</p>

3、所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；

2.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述走线层还包括分设于所述走线层的四角的驱动端子、感测端子、偏置端子以及接地端子；其中，所述第一走线和所述第二走线中的一者与所述驱动端子电信号连...

【技术特征摘要】

1.一种mems谐振器，其特征在于，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；

2.如权利要求1所述的mems谐振器，其特征在于，所述走线层还包括分设于所述走线层的四角的驱动端子、感测端子、偏置端子以及接地端子；其中，所述第一走线和所述第二走线中的一者与所述驱动端子电信号连接，另一者与所述感测端子电信号连接，所述第三走线与所述偏置端子电信号连接，所述接地端子用于接地。

3.如权利要求2所述的mems谐振器，其特征在于，所述感测端子和所述驱动端子分别位于所述走线层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱怀远，吴振云，李明，金怡，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：