【技术实现步骤摘要】
本技术涉硅芯切割领域,具体是一种沉浸式硅芯切割装置。
技术介绍
1、硅棒在半导体和光伏相关行业是需要大量运用的原材料。
2、为了方便运输和再加工,一根直径200~300mm,长度1.5~4m的硅棒需要进行切割成合适的大小的(10×10mm或者15×15mm方棒)。
3、对硅棒的加工,则需要使用切割设备,现有的切割设备一般分为立式和卧式,而卧式切割装置在对硅棒进行井字切割后,由于井字金刚线的切割损耗,切割后的各个方棒之间存在间隙,各个方棒将出现下榻现象,严重时甚至出现断裂。
技术实现思路
1、技术目的:提供一种沉浸式硅芯切割装置,以解决现有技术存在的上述问题。
2、技术方案:一种沉浸式硅芯切割装置,包括:
3、切割部,以及与所述切割部连接的送料部;
4、还包括:
5、切割腔,为一密封腔室,具有唯一开口,所述切割腔用于填充水源;所述唯一开口以供硅棒放入;
6、所述切割部及送料部均安装在所述切割腔内。
【技术保护点】
1.一种沉浸式硅芯切割装置,包括:
2.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割部(3)包括:
3.根据权利要求2所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割驱动单元(34)包括:
4.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述送料部(1)包括:
5.根据权利要求4所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述送料驱动单元包括:
6.根据权利要求4所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述送料架(11)安装在切割刀台(33)工作方向的切割腔(2)内壁上。
【技术特征摘要】
1.一种沉浸式硅芯切割装置,包括:
2.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割部(3)包括:
3.根据权利要求2所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割驱动单元(34)包括:
4.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵科俭,侯子钰,
申请(专利权)人:三谷泰机先进技术研究无锡有限公司,
类型:新型
国别省市:
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