一种沉浸式硅芯切割装置制造方法及图纸

技术编号:42570036 阅读:28 留言:0更新日期:2024-08-29 00:36
本技术公开了一种沉浸式硅芯切割装置包括:切割部,以及与所述切割部连接的送料部;还包括:切割腔,为一密封腔室,具有唯一开口,所述切割腔用于填充水源;所述唯一开口以供硅棒放入;所述切割部及送料部均安装在所述切割腔内。通过设计切割腔,在切割腔内灌入水源,使得硅棒在水下完成切割,当硅棒在水源中浸没时,受浮力影响,避免了切割后各个小硅棒之间因间隙出现的下榻现象,进而避免了小硅棒因下榻出现的断裂;同时通过该种设计,在水下切割时,即实现了切割时的降温需求,同时也避免了切割硅棒时粉尘四处散逸的情况发生。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉硅芯切割领域,具体是一种沉浸式硅芯切割装置


技术介绍

1、硅棒在半导体和光伏相关行业是需要大量运用的原材料。

2、为了方便运输和再加工,一根直径200~300mm,长度1.5~4m的硅棒需要进行切割成合适的大小的(10×10mm或者15×15mm方棒)。

3、对硅棒的加工,则需要使用切割设备,现有的切割设备一般分为立式和卧式,而卧式切割装置在对硅棒进行井字切割后,由于井字金刚线的切割损耗,切割后的各个方棒之间存在间隙,各个方棒将出现下榻现象,严重时甚至出现断裂。


技术实现思路

1、技术目的:提供一种沉浸式硅芯切割装置,以解决现有技术存在的上述问题。

2、技术方案:一种沉浸式硅芯切割装置,包括:

3、切割部,以及与所述切割部连接的送料部;

4、还包括:

5、切割腔,为一密封腔室,具有唯一开口,所述切割腔用于填充水源;所述唯一开口以供硅棒放入;

6、所述切割部及送料部均安装在所述切割腔内。

>7、通过设计切割腔本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种沉浸式硅芯切割装置,包括:

2.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割部(3)包括:

3.根据权利要求2所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割驱动单元(34)包括:

4.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述送料部(1)包括:

5.根据权利要求4所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述送料驱动单元包括:

6.根据权利要求4所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述送料架(11)安装在切割刀台(33)工作方向的切割腔(2)内壁上。

【技术特征摘要】

1.一种沉浸式硅芯切割装置,包括:

2.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割部(3)包括:

3.根据权利要求2所述的一种沉浸式硅芯切割装置,其特征是:所述切割驱动单元(34)包括:

4.根据权利要求1所述的一种沉浸式硅...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵科俭侯子钰
申请(专利权)人:三谷泰机先进技术研究无锡有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1