【技术实现步骤摘要】
本公开涉及线材切割领域,尤其涉及一种三梁四柱结构、线网切割设备及线网切割方法。
技术介绍
1、将硅棒切割成方形硅芯过程中,一般将切割线缠绕在设备导轮组上形成切割线列,两个导轮组形成的相互正交的切割线列构建线网,利用线网的方形网孔实现方形硅芯切割。随着集成电路产业快速发展,对三角形硅芯的需求量越来越大,然而,由于切割作业中硅棒施加的负载复杂,微小的变形或震颤都会影响硅芯切割质量,因此现有技术中还没有能够批量切割三角形硅芯的线网切割设备。
技术实现思路
1、本公开提供一种线网切割设备及线网切割方法。
2、具体地,本公开是通过如下技术方案实现的:
3、第一方面,本公开实施例提供三梁四柱结构,使用在线网切割设备上,所述线网切割设备用于将棒料切割成多个芯材,所述棒料固设在所述线网切割设备的机架上;所述三梁四柱结构包括:顶座,设置于所述机架上,且位于上部;底座,设置在机架上,且位于下部;刀台,位于所述顶座和所述底座之间的机架上;所述刀台包括台座;导柱组件,设置在机架上,所述导柱
...【技术保护点】
1.三梁四柱结构,使用在线网切割设备上,所述线网切割设备用于将棒料切割成多个芯材,所述棒料固设在所述线网切割设备的机架(10)上;
2.根据权利要求1所述的三梁四柱结构,其特征在于,所述导柱组件上的导柱的数目为四根,四根所述导柱形成一个竖向的四柱结构,与三梁结构共同构成一个用于切割棒料的三梁四柱结构。
3.一种线网切割设备,用于将棒料切割成多个芯材,其特征在于,线网切割设备包括:
4.根据权利要求3所述的线网切割设备,其特征在于,所述导轮组的数目为三个,呈等边三角形分布;所述三个导轮组上缠绕的切割线列轨迹相互交叉且两两之间呈120度
...【技术特征摘要】
1.三梁四柱结构,使用在线网切割设备上,所述线网切割设备用于将棒料切割成多个芯材,所述棒料固设在所述线网切割设备的机架(10)上;
2.根据权利要求1所述的三梁四柱结构,其特征在于,所述导柱组件上的导柱的数目为四根,四根所述导柱形成一个竖向的四柱结构,与三梁结构共同构成一个用于切割棒料的三梁四柱结构。
3.一种线网切割设备,用于将棒料切割成多个芯材,其特征在于,线网切割设备包括:
4.根据权利要求3所述的线网切割设备,其特征在于,所述导轮组的数目为三个,呈等边三角形分布;所述三个导轮组上缠绕的切割线列轨迹相互交叉且两两之间呈120度夹角,从而使形成的切割线网的网孔呈等边三角形;每个导轮组至少设置有一对相互对置的导轮,从而使三个导轮组的三对导轮沿周向呈60度等角排布。
5.根据权利要求4所述的线网切割设备,其特征在于,还包括:
6.根据权利要求5所述的线网切割设备,其特征在于,供线机构将两股相互独立的切割线分配给三个导轮组,其中,一股切割线分配给一个导轮组,另一股切割线分配给另两个导轮组,在所述切割线网中,被单独分配一股切割线的导轮组所形成的切割线列,位于另两个导轮组所形成的切割线列之间。
7.根据权利要求5所述的线网切割设备,其特征在于,三对导轮中的周向相邻两个导轮设置为朝向机架(10)的一侧对称布置,并且分别作为各自导轮组的进线导轮,分别接收来自机架(10)同一侧布置的供线机构供应的两股相互独立的切割线。
8.根据权利要求5所述的线网切割设备,其特征在于,机架(10)设置有顶座(11)与底座(12)...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵科俭,
申请(专利权)人:三谷泰机先进技术研究无锡有限公司,
类型:发明
国别省市:
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