温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术公开了一种沉浸式硅芯切割装置包括：切割部，以及与所述切割部连接的送料部；还包括：切割腔，为一密封腔室，具有唯一开口，所述切割腔用于填充水源；所述唯一开口以供硅棒放入；所述切割部及送料部均安装在所述切割腔内。通过设计切割腔，在切割腔内灌...
该专利属于三谷泰机先进技术研究（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三谷泰机先进技术研究（无锡）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。