一种基于飞秒激光的面发射激光器及其制备方法技术

本申请涉及激光器制备技术领域，提供一种基于飞秒激光的面发射激光器及其制备方法。制备方法包括：在衬底上生长多层结构；清洁多层结构背离衬底一侧的表面；采用飞秒激光在增益层和/或第二限制层制备多个长孔，以形成光子晶体结构；进行超声波清洗处理；在第二限制层上沉积图形化的第一金属电极；进行退火或光激活处理；在衬底上沉积第二金属电极，以得到面发射激光器。该制备方法直接在结构层表面或者内部形成光子晶体结构，不需要制备掩膜结构，极大程度上简化了加工工艺，节约生产时间，降低生产成本，提高了加工一致性和可靠性，能够有效实现高精度和低热效应的加工。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及激光器制备，尤其涉及一种基于飞秒激光的面发射激光器及其制备方法。

技术介绍

1、光子晶体表面发射激光器（photonic crystal surface-emitting laser，pcsel）是一种结合光子晶体与传统表面发射激光器优点的新型激光器。光子晶体是一种具有周期性结构的材料，通过周期性折射率变化，可以控制光的传播路径和频率。将光子晶体结构引入表面发射激光器中，可以显著改善其光束质量、增强其出射光的方向性，并实现低阈值电流和高效率的激光发射。虽然传统的pcsel制备方法已经取得了显著进展，但仍存在一些问题和挑战：传统的光刻和蚀刻工艺复杂，步骤多且需要精确控制，这增加了制造成本和时间。光子晶体结构的周期性和尺寸需要纳米级的精度，稍有偏差可能导致器件性能下降。在蚀刻和外延生长过程中，热效应可能会导致材料应力和晶格缺陷，影响器件的性能和可靠性。在大规模生产中，保持每个pcsel器件的结构和性能一致性是一个巨大的挑战。

2、因此，亟需一种满足pcsel器件的结构和性能一致性的制备方法。

>技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，

5.一种基于飞秒激光的面发射激光器，其特征在于，采用如权利要求1-4中任一项所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法制备得到，所述基于飞秒激光的面发射激光器包括：

6.一种基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，包括：

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【技术特征摘要】

1.一种基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法，其特征在于，

5.一种基于飞秒激光的面发射激光器，其特征在于，采用如权利要求1-4中任一项所述的基于飞秒激光的面发射激光器的制备方法制备得到，所述基于飞秒激光的面发射激光器包括：

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【专利技术属性】
技术研发人员：唐先胜，王兆伟，韩丽丽，宫卫华，李仕龙，王舒蒙，
申请(专利权)人：山东省科学院激光研究所，
类型：发明
国别省市：