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山东省科学院激光研究所
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一种基于飞秒激光的面发射激光器及其制备方法技术
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文档序号:42563530
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本申请涉及激光器制备技术领域,提供一种基于飞秒激光的面发射激光器及其制备方法。制备方法包括:在衬底上生长多层结构;清洁多层结构背离衬底一侧的表面;采用飞秒激光在增益层和/或第二限制层制备多个长孔,以形成光子晶体结构;进行超声波清洗处理;在第...
该专利属于山东省科学院激光研究所所有,仅供学习研究参考,未经过山东省科学院激光研究所授权不得商用。
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