单晶硅加料器制造技术

一种单晶硅加料器，包括一筒体，筒体内腔中置有一根具有轴套的中心轴，轴套由径向支撑杆定位在筒体上；所述中心轴下端设有一重锤，重锤向下伸出筒体的下端口，筒体下端口的端口壁上环设有多片合页，重锤上具有一个搭接平面；所述中心轴向上伸出筒体的上端口，中心轴的顶部为连接部，该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配，中心轴连接部下方的轴上设有若干个定位销孔；所述筒体的上端口端面外凸形成一挂沿。利用本加料器，在单晶炉拉制单晶棒过程中也可添加原料，因此，它具有确保足量投料、石英坩埚利用率和成品率高，以及能充分利用单晶棒尾料的优点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

单晶硅加料器
本技术属于一种与单晶炉匹配使用的附件，尤其是属于一种给单晶炉 主室中石英坩埚添加原料的单晶硅加料器。
技术介绍
在本技术作出之前，利用单晶炉拉制单晶棒，原料一次性装入主室石 英坩埚内，然后，按照工艺要求操控单晶炉拉制单晶棒。这种方式存在如下问 题1、由于单晶硅原料呈固体状，固体与固体之间必然存在间隙，使一次性投 料往往不能做到足量投料，而石英坩埚又是一次性使用的易损品，因此，石英 坩埚不能发挥最大效用，利用率低。2、针对一些电阻率有特殊要求的单品棒， 如在要求单晶棒电阻率范围比较狭的情况下，由于在拉制单晶过程中没有办 法实现加料，因此，也就没有办法通过加入原生多晶以提高尾部单晶的电阻率， 达到充分利用尾料的目的，以至于现有技术在单晶棒拉完后，还需截去不合格 部分，再通过清洗、烘干后回炉，费时费力成本高。
技术实现思路
为克服现有技术存在的上述缺陷，木技术旨在提供一种单晶硅加料器， 有此加料器后，现有单晶炉在拉制单晶棒过程中，就能实现足量投料的目的， 从而最大限度地发挥石英坩埚效用，提高单晶炉生产效率，降低单晶棒拉制成 本，另外，针对一些电阻率有特殊要求的单晶棒，可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅加料器，其特征是：一两端开口直筒状的筒体（５），筒体（５）内腔中置有一根具有轴套（９）的中心轴（３），轴套（９）由径向支撑杆（７）定位在筒体（５）上；所述中心轴（３）下端设有一重锤（１），重锤（１）向下伸出筒体（５）的下端口（５１），筒体（５）下端口（５１）的端口壁上环设有多片合页（２），重锤（１）上具有一个搭接平面（６２），所述搭接平面（６２）为水平状态下合页（２）的接纳面；所述中心轴（３）向上伸出筒体（５）的上端口，中心轴（３）的顶部为连接部，该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配，连接部下方的中心轴（３）上设有若干个限止中心轴（３）作轴向移动的定位销孔；所述筒体...

【技术特征摘要】
1、一种单晶硅加料器，其特征是一两端开口直筒状的筒体(5)，筒体(5)内腔中置有一根具有轴套(9)的中心轴(3)，轴套(9)由径向支撑杆(7)定位在筒体(5)上；所述中心轴(3)下端设有一重锤(1)，重锤(1)向下伸出筒体(5)的下端口(51)，筒体(5)下端口(51)的端口壁上环设有多片合页(2)，重锤(1)上具有一个搭接平面(62)，所述搭接平面(62)为水平状态下合页(2)的接纳面；所述中心轴(3)向上伸出筒体(5)的上端口，中心轴(3)的顶部为连接部，该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配，连接部下方的中心轴(3)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆昌忠，
申请(专利权)人：浙江华友电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]