动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开的动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置，属于显微光谱成像领域。本发明专利技术利用共焦探测系统光强和轴向离焦距离一一对应的特性，结合频闪原理对离面运动状态的被测样品进行相位锁定的离焦位置检测，使用轴向驱动系统调节焦点位置，完成对振动器件的焦点跟踪，结合共焦拉曼光谱探测系统收集相位锁定状态下的拉曼光谱信息，实现动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测；焦点跟踪的同时记录轴向位移即样品振动位移，结合相位焦点跟踪的拉曼光谱信息，实现高空间分辨“振动波形‑拉曼光谱”融合图的绘制。本发明专利技术解决使用拉曼光谱测试离面振动样品时的焦点偏移问题的同时能够获取相位振动位移信息，具有高灵敏度、高空间分辨、易集成且结构简单等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置，属于光学精密测量。

技术介绍

1、以微机电系统(mems)技术为基础的各类微型系统被广泛应用于各个领域，包括电子信息、通信、医疗、汽车、航空航天等。它利用微纳技术，将传感器、执行器和电子电路集成在一个芯片上，具备微型化、低功耗、高性能等特点。随着mems设计和加工工艺的不断发展，这些微型器件逐渐成为研究和应用的焦点。对于mems器件，尤其是那些离面振动微机械结构，其机械运动或变形是实现其功能的关键，这使得动态特性的高效测试成为目前亟待解决的问题。

2、mems微结构的三维运动状态、材料属性和机械力学特性等因素是研究和应用中需要详细了解的关键参数。通过有效检测这些参数，可以为mems可靠性分析、器件失效分析以及失效机理等关键问题提供深入洞察。此外，随着mems器件结构尺寸的不断减小，通过测量这些微小尺度下的参数，可以进行微观层面的基础物理和材料研究，为mems器件的结构优化提供重要的指导，从而降低研发成本并提高性能。

3、mems器件通常具有微米到毫米级别的尺寸，这使得它本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法，其特征在于：包括以下步骤，

2.如权利要求1所述的动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法，其特征在于：在进行焦点跟踪的同时记录轴向位移即样品振动位移，结合相位拉曼光谱信息，实现高空间分辨“振动波形-拉曼光谱”融合图的绘制。

3.一种实现动态期间多相位焦点跟踪的拉曼光谱探测方法，基于如权利要求1所述动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法实现，其特征在于：包括如下步骤，

4.一种动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测装置，用于实现如权利要求1、2或3所述方法，其特征在于：包括产生激光脉冲的光源系统(1)、分光镜(...

【技术特征摘要】

1.一种动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法，其特征在于：包括以下步骤，

2.如权利要求1所述的动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法，其特征在于：在进行焦点跟踪的同时记录轴向位移即样品振动位移，结合相位拉曼光谱信息，实现高空间分辨“振动波形-拉曼光谱”融合图的绘制。

3.一种实现动态期间多相位焦点跟踪的拉曼光谱探测方法，基于如权利要求1所述动态焦点跟踪的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵维谦，徐德民，邱丽荣，崔晗，徐可米，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：