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动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:42500246
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本发明公开的动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置,属于显微光谱成像领域。本发明利用共焦探测系统光强和轴向离焦距离一一对应的特性,结合频闪原理对离面运动状态的被测样品进行相位锁定的离焦位置检测,使用轴向驱动系统调节焦点位置,完成对振动...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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