加热盘升温检测装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及加热盘检测技术领域，公开了加热盘升温检测装置及系统。其中，加热盘升温检测装置包括保护罩、红外玻璃、红外热像仪，保护罩适于密封罩设于安装有加热盘的腔体上，保护罩上开设有位于加热盘上方的开口，红外玻璃密封设于开口处，红外热像仪安装于红外玻璃顶部，用于透过红外玻璃检测加热盘的表面温度。本发明专利技术将红外热像仪安装在红外玻璃的顶部，加热盘所发出的红外辐射穿过红外玻璃被红外热像仪接收，在无需打开或破坏保护罩内部封闭环境的情况下，红外热像仪无需直接接触加热盘即可测量温度，能够快速获取加热盘每个区域的温度分布信息并检测到微小的加热盘表面温度差异，提高了加热盘的温度均匀性检测的精准度和效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及加热盘检测，具体涉及加热盘升温检测装置及系统。

技术介绍

1、在薄膜沉积过程中，加热盘是一个关键的组件。加热盘通常被用来提供恒定的加热温度，以促进薄膜材料在晶圆表面的沉积和成膜过程。

2、现有技术中，加热盘通过将电能转换为热能，然后将热能传输给晶圆表面，使晶圆表面达到所需的沉积温度。通过提供适当的加热温度，加热盘可以促进薄膜材料在晶圆表面的扩散和反应，从而实现薄膜的均匀沉积。因此，加热盘在薄膜沉积过程中起着至关重要的作用，直接影响薄膜沉积的质量和效率。为了确保加热盘在使用前能够提供稳定且均匀的加热效果，需要对其温度均匀性进行检测。目前，常用的检测方式是在加热盘表面布置多个温度传感器，通过同时监测不同位置的温度变化来评估加热盘的温度均匀性。然而，这种检测方式存在着检测过程复杂且无法精准地检测到加热盘各个区域的温度情况。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种加热盘升温检测装置及系统，以解决现有的检测方式无法精准地检测到加热盘各个区域的温度的问题。

<p>2、第一方面，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加热盘升温检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加热盘升温检测装置，其特征在于，还包括安装座(6)，所述安装座(6)密封设于所述开口(101)处，所述红外玻璃(4)经密封圈(7)密封设于所述安装座(6)上。

3.根据权利要求2所述的加热盘升温检测装置，其特征在于，所述安装座(6)内设有流通腔(601)，所述安装座(6)的底部开设有与所述流通腔(601)连通的导流孔(602)，所述导流孔(602)朝向所述红外玻璃(4)方向设置，所述安装座(6)上还设有导流管(8)，所述导流管(8)与所述流通腔(601)连通并适于充入液氮。

4.根...

【技术特征摘要】

1.一种加热盘升温检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加热盘升温检测装置，其特征在于，还包括安装座(6)，所述安装座(6)密封设于所述开口(101)处，所述红外玻璃(4)经密封圈(7)密封设于所述安装座(6)上。

3.根据权利要求2所述的加热盘升温检测装置，其特征在于，所述安装座(6)内设有流通腔(601)，所述安装座(6)的底部开设有与所述流通腔(601)连通的导流孔(602)，所述导流孔(602)朝向所述红外玻璃(4)方向设置，所述安装座(6)上还设有导流管(8)，所述导流管(8)与所述流通腔(601)连通并适于充入液氮。

4.根据权利要求3所述的加热盘升温检测装置，其特征在于，所述安装座(6)包括基座(603)和盖设于所述基座(603)上的盖板(604)，所述红外玻璃(4)设于所述基座(603)与所述盖板(604)之间，所述基座(603)与所述红外玻璃(4)之间安装所述密封圈(7)，所述盖板(604)与所述红外玻璃(4)之间安装所述密封圈(7)。

5.根据权利要求4所述的加...

【专利技术属性】
技术研发人员：廉杰，
申请(专利权)人：无锡金源半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：